超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導體晶片制造過程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個生產(chǎn)周期內(nèi)，一個晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會影響晶片的質(zhì)量，甚至導致產(chǎn)品的報廢。水處理之家網(wǎng)認為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是保障半導體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡介
本方案以半導體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計等。
對于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時會引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計的過程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過程。不同凈化設(shè)備對各種雜質(zhì)的去除效率。對超純水水質(zhì)的指標要求：
二、半導體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預處理、初級制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機臺使用的超純水除了PH值，電導率，TOC等指標較差外，大部分指標都優(yōu)于市政供水，只要有針對性地設(shè)計一些凈化設(shè)備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達到節(jié)水環(huán)保的目的。當然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時的特點，各部分的設(shè)計兼顧經(jīng)濟性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級反滲透 —預處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級反滲透—中間水箱—去有機物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點
四、半導體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計方案
預處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過濾器的大基團，而NaCl0具有殺菌，分解有機物的作用。
2.多介質(zhì)過濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對本工程大水量的特點而設(shè)計的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時使用熱交換器加熱反滲透進水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護反滲透膜。
5.一級反滲透：反滲透對除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復合(TFC)膜低，本設(shè)計用于一級反滲透，作為預處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預處理水箱：儲存一級反滲透產(chǎn)水，收集工藝機臺使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預處理水尤其是回收純水中的有機物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導率而設(shè)計，同時可進一步純化預處理水，保證水質(zhì)離子交換樹脂定時用酸堿再生后可反復使用。
初級制水：
1.去離子水箱：儲存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預處理系統(tǒng)和初級制水系統(tǒng)的運行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護反滲透膜。
4.二級反滲透： 采用復合(TFC)膜的二級反滲透可去除高達95％ 以上的各種離子和有機物。
5.中間水箱：儲存二級反滲透產(chǎn)水，充普通氮氣，隔絕空氣，以保護水質(zhì)不受污染。
6.去有機物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮氣吹掃的膜脫氣裝置可保證產(chǎn)水中溶氧達到小于lppb的要求，與早期的真空氮氣吹掃的填料塔相比，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮氣的優(yōu)點。

軟化水設(shè)備主要是降低水的硬度，除去原水中的鈣、鎂離子。當含有硬度離子的原水通過交換器內(nèi)樹脂層時，鈣、鎂離子會與樹脂中的鈉離子發(fā)生置換，從而使得交換器內(nèi)流出的水便是軟化水。該設(shè)備在運行中也是需要進行定期維護維修的。
軟化水設(shè)備
其實不只是運行中，就是停用之后，軟化水設(shè)備也是需要定期維護的。那么要做好該設(shè)備的日常維護工作，需要做到以下幾點：
1.要定期檢查射流器及吸鹽管路的氣密性，不讓漏氣而影響到再生。
2.要使輸入的電流電壓穩(wěn)定，不讓電控裝置燒損。電控裝置外部應安裝密封罩，不得受潮和水浸，還要定期向鹽箱內(nèi)加固體顆粒食鹽，而且要使鹽箱內(nèi)的食鹽溶液處于飽和狀態(tài)。由于固體食鹽含有雜質(zhì)，大量的雜質(zhì)會沉積在鹽箱底部，堵塞鹽閥，需要定期清理鹽箱底部的雜質(zhì)。
軟化水設(shè)備鹽箱
3.每年還要將軟水器拆卸一次，清理上下布水器和石英砂墊層內(nèi)的雜質(zhì)，并檢查樹脂的損耗量和交換能力，更換老化的樹脂。
軟化水設(shè)備樹脂
4.軟化水設(shè)備在長期停用前應對樹脂進行一次充沛的再生，將樹脂轉(zhuǎn)換成鈉型濕法保養(yǎng)，如是冬季，需做好防凍措施，別讓樹脂內(nèi)的水分凍結(jié)而使樹脂破碎，可保存于食鹽水溶液中；如是夏季，每月至少要對軟水器進行一次沖洗，可不讓交換罐內(nèi)滋生微生物而使樹脂發(fā)霉。

我公司投資研發(fā)建設(shè)的水處理設(shè)備遠程服務系統(tǒng)可以根據(jù)用戶的需求遠程水處理設(shè)備的運行數(shù)據(jù)，預測、提前發(fā)現(xiàn)系統(tǒng)中的故障點，做到早發(fā)現(xiàn)、早排除、使水處理設(shè)備平穩(wěn)運行，實現(xiàn)了科技與人力、固定與移動、視頻圖像與數(shù)據(jù)監(jiān)測的有機結(jié)合。
1.本系統(tǒng)是格瑞水務電控部與天津大學自動化學院歷時2年共同研發(fā)的遠程服務系統(tǒng)
2.我公司運營服務部人員值班，在我公司可通過網(wǎng)絡遠程查看貴公司設(shè)備所有運行數(shù)據(jù)，發(fā)現(xiàn)異常后及時與客戶聯(lián)系
3.遇到疑難問題我公司運營服務部組織團隊共同出具解決方案，必要時現(xiàn)場解決問題
4.“把問題消滅在萌芽狀態(tài)”是我們的宗旨。
我公司水處理設(shè)備遠程服務系統(tǒng)的投入使用，為我公司的服務提檔升級奠定了堅實的基礎(chǔ)，這樣我公司設(shè)計制作的反滲透設(shè)備、超濾設(shè)備、軟化水設(shè)備、污水及中水回用設(shè)備、濃水回收設(shè)備等水處理設(shè)備將更好的服務于用戶。詳細說明
反滲透設(shè)備
RO反滲透原理及技術(shù)特點:
反滲透裝置是脫除水中鹽分和各種雜質(zhì)藉膜分離進行水處理的設(shè)備。它可以有效地除去原水中溶解的離子，除去有機物大分子以及、等有害污染物。
RO反滲透裝置采用美國進口膜元件，壓力容器及測量儀表等主要部件組裝，有較好的質(zhì)量價格比，也可根據(jù)用戶需要從美國進口原裝設(shè)備。純水設(shè)備安裝條件
1.裝置運到現(xiàn)場后應放置于室內(nèi)周圍環(huán)境溫度不得低于5℃不得高于38℃。當溫度高于35℃時應加強通風措施。
2.裝置到達后應在一個月內(nèi)安裝完畢并應立即進行通水試車運行。
3.裝置在未進行通水試車之前任何閥門均不得開啟以免保護溶液流出致使元件損壞。
4.裝置就位后應調(diào)整裝置支承點使組件處于基本水平的位置且與基礎(chǔ)接觸可靠。
5.裝置與供水泵相接的管路及閥門在連接之前應進行脫脂處理供水泵過流部份也應進行脫脂處理。
6.裝置的產(chǎn)水輸出管輸出高度應小于8米。

主營清遠水處理、河源水處理設(shè)備、純水處理設(shè)備、超純水處理設(shè)備、反滲透設(shè)備、實驗室超純水成套設(shè)備、直飲水設(shè)備、家用純水機、家用凈水器、直飲水機、鍋爐補給水軟化水設(shè)備、超濾設(shè)備；質(zhì)量保證，
超濾是以壓力為推動力，利用超濾膜不同孔徑分離液體中的雜質(zhì)的過程。我國超濾技術(shù)開發(fā)于20世紀70年代初，初開發(fā)的CA管式膜組件首先用于電泳漆行業(yè)，后又用于酶制劑的濃縮。20世紀80年代初，聚砜（PS）中空纖維超濾組件研究成功，20世紀90年代初，聚丙烯中空纖維組件研制成功。目前在水處理行業(yè)中，聚砜和聚丙烯中空纖維式組件應用多。與國際產(chǎn)品相比，國產(chǎn)超濾膜組件品種單一，水通量和截留率綜合性能較低，超濾技術(shù)在水處理以外領(lǐng)域應用的步伐進展緩慢。近幾年來，我國出現(xiàn)了大批超濾膜生產(chǎn)技術(shù)，并在某些領(lǐng)域接近國際水平，目前國內(nèi)超濾市場主要以國內(nèi)產(chǎn)品為主。
超濾的基本原理：
超濾膜的孔徑大致在0.005-1微米之間。因此超濾膜分離過程曾被看做是一種單純的物理分離過程。超濾過程存在著三種情形：
（1）溶質(zhì)在膜表面及微孔孔壁上產(chǎn)生吸附（一次吸附）
（2）溶質(zhì)的粒徑大小與膜孔徑相仿，溶質(zhì)在膜表面被機械截留，實現(xiàn)篩分（阻塞）。
（3）溶質(zhì)的粒徑大于膜孔徑，溶質(zhì)在膜表面被機械截留，實現(xiàn)篩分。
超濾反滲透設(shè)備在工業(yè)應用十分廣泛，已成為新型化工單元操作之一。用于分離、濃縮、純化生物制品、醫(yī)藥制品以及食品工業(yè)中；還用于血液處理、廢水處理和超純水制備中的終端處理裝置。在我國已成功地利用超濾膜進行了中草藥的濃縮提純。超濾膜隨著技術(shù)的進步，其篩選功能必將得到改進和加強，對人類社會的貢獻也將越來越大。
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