一、設(shè)計原理：
1．原 水：深井水或市政自來水。
2. 原水水質(zhì)報告：見原水檢驗報告書。
3. 系統(tǒng)設(shè)計進水參數(shù)：
水壓≥3.0kg    管路直徑為：≥DN50     水通量 ：≥18噸/小時
4、系統(tǒng)產(chǎn)水參數(shù)：
一級RO出水水量≥9噸/小時　       二級 RO出水水量≥6 噸/小時
5、出水水質(zhì)：
反滲透設(shè)備出水電導(dǎo)率≤10μS/cm，出水符合瓶（桶）裝飲用純凈水衛(wèi)生標準
GB/T17324-2003
6．系統(tǒng)配置： 預(yù)處理系統(tǒng)→雙級反滲透系統(tǒng)→臭氧殺菌系統(tǒng)→灌裝線系統(tǒng)
7．運行方式：全自動控制運行。
8．設(shè)計界線：從原水箱出口至灌裝線。
9．其他涉及的設(shè)計基礎(chǔ)條件將在技術(shù)討論中確定。
10.地基要求：地基承載力≥5噸/平方。
11.廢水處理：排至設(shè)備就近下水管道/地溝（用戶考慮）。
12.系統(tǒng)要求水溫：5—25度。
13.設(shè)備周圍環(huán)境要求溫度：5—40度。
14．設(shè)備占地面積：100—200平方米。
15．設(shè)備現(xiàn)場排水預(yù)埋地漏、地溝；原水進水管道及閥門；設(shè)備所需總配電柜；屋內(nèi)照               明等由設(shè)備供應(yīng)方設(shè)計，設(shè)備需求方按要求做到位。
16、設(shè)備所有室內(nèi)地面需做自流地坪，墻面：灌裝間、風(fēng)淋室及更衣室按國家水廠無菌室制作要求來做，其余室內(nèi)墻面只需貼瓷磚。
二、系統(tǒng)工藝流程：
原水→原水箱→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性碳過濾器→阻垢劑添加系統(tǒng)→5微米精密過濾器  → 一級反滲透系統(tǒng)→中間水箱→二級反滲透系統(tǒng)→臭氧殺菌系統(tǒng)→純水箱→純水供水泵→灌裝線
三、主要工藝流程設(shè)備的說明：
1、 預(yù)處理部分：
預(yù)處理就是通過過濾、吸附、交換等方法使反滲透進水達到以下要求，實現(xiàn)以下目的：
（1）防止反滲透膜面結(jié)垢（包括CaCO3、CaSO4、SrSO4、CaF2、SiO2、鐵鋁氧化物等）；（2）防止膠體物質(zhì)及懸浮固體微粒對反滲透膜的污堵；
（3）防止有機物質(zhì)的對反滲透膜的污堵和降解；
（4） 防止微生物對反滲透膜的污堵；
（5）防止氧化性物質(zhì)對反滲透膜的氧化破壞；
2、預(yù)處理系統(tǒng)的組成及設(shè)計原因：
（1）設(shè)計組成:原水中含有多種雜質(zhì)，如懸浮物、膠體、有機物和無機物。為去除水中的懸浮物、膠體、有機物等，原水預(yù)處理部分設(shè)置有：多介質(zhì)過濾器（主要濾料有粒徑不同大小的凈水石英砂組成）、活性炭、樹脂軟化罐、5微米保安濾器等裝置。
（2）設(shè)計原因：預(yù)處理系統(tǒng)是根據(jù)原水水質(zhì)報告數(shù)據(jù)分析，結(jié)合公司多年實際經(jīng)驗，在保證設(shè)備運行中：科學(xué)、安全可靠的前提下得出的結(jié)論。反滲透進水水質(zhì)要求污染指數(shù)（SDI）≤4，濁度＜1NTU，余氯＜0.1mg/L，含量TBC＜10個/mL。水質(zhì)的好壞直接影響反滲透水處理設(shè)備的可靠性與安全性。
3、預(yù)處理分項功能說明：
（1） 原水箱、原水泵：
反滲透系統(tǒng)要求進水合格、壓力穩(wěn)定，屬于分批式供水。原水箱、原水泵用來提供足夠的進水和壓力及保證系統(tǒng)的運行穩(wěn)定。
（說明：原水泵≧18噸/小時、壓力≧3kg，兩個參數(shù)必須同時滿足）。
（2）多介質(zhì)過濾器主要功能：
其主要作用是去除粒度大于20微米的機械雜質(zhì)、經(jīng)過混凝的小分子有機物和部分膠體，使出水濁度小于0.5NTU，含鐵量小于0.05mg/L,  SDI≤5.
此系統(tǒng)設(shè)有全自動過濾閥頭、廠商為美國Fleck，能根據(jù)原水水質(zhì)條件來設(shè)定：
正洗和反洗的周期時間；能夠徹底的把原水中顆粒性物質(zhì)及泥沙下來、再
定期反沖洗把每天運行時所截留的淤泥、懸浮物等雜質(zhì)排除罐外，重新恢復(fù)濾料的
功能及延長其使用壽命；有效的保證下道工序進水要求。
（3）活性炭的主要功能 ：
反滲透設(shè)備要求進水的余氯含量小于0.1mg/l，因此采用活性炭濾器脫除原水中的余氯，防止反滲透膜受到污染。同時可以進一步吸附原水中的有機物?；钚蕴繛V器內(nèi)填精制耶殼型活性炭，用于吸附原水中的余氯、有機物、部分色素和有害物質(zhì)，降低化學(xué)耗氧量COD?；钚蕴勘粡V泛應(yīng)用于生活用水及食品工業(yè)、化工等工業(yè)用水的凈化，由于活性炭的比表面積很大，其表面又布滿了平均為20—30埃的微孔，因此，活性炭具有很高的吸附能力。此外，活性炭的表面有大量的羥基和羧基等官能團，可以對各種性質(zhì)的有機物質(zhì)進行化學(xué)吸附，以及靜電引力作用，因此，活性炭還能去除水中腐殖酸、富維酸、木質(zhì)磺酸等有機物質(zhì)，還可去除象余氯一類對反滲透膜有害的物質(zhì)，防止反滲透膜被氧化。通常能夠去除63%—86%膠體物質(zhì)，50%左右的鐵，以及47—60%的有機物質(zhì)。 活性炭脫出余氯的過程是一個簡單的氧化還原過程。此過程有可能使活性炭破碎，但破碎的活性炭并不影響脫出余氯的效果，因此活性炭脫出余氯的效果非常強。

純水設(shè)備廠家告訴我們，關(guān)于純水設(shè)備的價格問題，在這里牽扯到一個非常重要的指數(shù)就是“電導(dǎo)率”。一般而言電導(dǎo)率，越低。水越純凈，價格也相應(yīng)貴一些，現(xiàn)在采用的水處理工藝都是采用的反滲透系統(tǒng)。經(jīng)過處理后的水一般能達到90%——99%的脫鹽率。
統(tǒng)泉純水設(shè)備簡介
純水設(shè)備純水設(shè)備，由原水預(yù)處理部分、反滲透主機和純水消毒儲存及灌裝等幾部分組成。采用單元組合結(jié)構(gòu)，可減少設(shè)備占地面積，便于運輸及現(xiàn)場安裝調(diào)試，具有占地面積小、安裝快速、外觀漂亮、操作、維修方便等優(yōu)點，預(yù)處理罐體可選用玻璃鋼或不銹鋼材料。
純水設(shè)備工藝系統(tǒng)
純水設(shè)備原水預(yù)處理系統(tǒng)
1.原水泵
原水泵是為原水預(yù)處理系統(tǒng)提供原水壓力的作用。如果原水有壓力就完全可以不用這個設(shè)備。一般要求原水壓力>=0.3MP
2.原水箱
原水箱的作用更簡單，是儲存原水用的。這是怕原水萬一供不上作一個中轉(zhuǎn)（通常添加浮球開關(guān)是整個系統(tǒng)自動化程度更高）。
3.石英砂過濾器
采用石英砂濾料以除去原水中較大顆粒的懸浮物、泥沙、雜質(zhì)等，降低水的混濁度。而且還可以使水中的有機物質(zhì)、、等隨著濁度的降低而被大量去除，并為濾后消毒創(chuàng)造了良好條件。
4.活性炭過濾器
利用活性碳的吸附能力有效地吸附原水中的有機物、游離性余氯、膠體、微粒、微生物、某些金屬離子及脫色等。
5.軟化系統(tǒng)（加藥系統(tǒng)）
利用離子樹脂的交換性能，除去原水中的鈣鎂離子，以達到防止后繼設(shè)備結(jié)生水垢的影響，但是操作起來費工，費料。現(xiàn)在改為加藥系統(tǒng)直接向里添加阻垢劑。
純水設(shè)備反滲透系統(tǒng)
反滲透系統(tǒng)是整個純凈水系統(tǒng)的核心部件，反滲透系統(tǒng)主要采用膜過濾工藝。然后水分子可以通過反滲透膜。其他一些如鈣、鎂、鈉等離子隨廢水一起排掉。下面本系統(tǒng)的組成部件。
1.精密過濾器
主要過濾水中的大顆粒分子。
2.特種高壓泵
為反滲透設(shè)備提供強勁的動力。
3.反滲透膜
反滲透膜采用的是膜過濾技術(shù)。讓水分子通過其他一些離子不能通過達到凈化水的目的。
3設(shè)計特點
1、通過對水的壓力達到對水的深層過濾。反滲透純水設(shè)備除了包括一般的過濾器之外，還具有精細過濾器、顆粒活性炭過濾器和壓縮活性炭過濾器。精細過濾器具有比一般過濾器更精細的過濾功能，能更好地過濾水中的雜質(zhì)。
2、反滲透純水設(shè)備的核心是反滲透膜的應(yīng)用。反滲透膜是一種孔徑極小的過濾膜，利用這種膜可以實現(xiàn)對原水的超精細過濾，同時可以把水分成較高濃度和低濃度。
4設(shè)備特點
1、采用逆滲透(RO)膜凈化裝置(孔徑萬分微米)，運用國際上的逆滲透技術(shù)純水設(shè)備工藝制備純水。
2、多級過濾，綜合發(fā)揮各級過濾器的有效作用，清除源水中的泥沙、懸浮物、膠體、有機物、重金屬、可溶性固體、、、熱源和其他有害雜質(zhì)，僅保留水分子和溶解氧。預(yù)處理濾料采用可更換方式，可有效保證預(yù)處理效果，且更換方便，濾料價格經(jīng)濟，產(chǎn)水運行成本低。
3、采用靜音高壓泵，使用壽命長，運行質(zhì)量可靠。
4、具有高壓反沖洗功能，可有效延長濾料、RO膜壽命。
5、制水過程自動控制(源水缺水停機，儲水箱水滿停機)。
5結(jié)構(gòu)組件
純水設(shè)備純水設(shè)備機架選用不銹鋼制作，管道低壓部分采用食品級PVC-U管材，高壓部分采用不銹鋼管材（小型設(shè)備也選用食品級PVC-U管材）。
6功能
純水設(shè)備純水設(shè)備主要功能：原水預(yù)處理部分由多介質(zhì)過濾器、活性碳過濾器和軟水器組成，采用便捷式多路閥控制，也可選用全自動多路閥控制，具有操作簡單，清洗效果好等優(yōu)點。
7食品純水設(shè)備
反滲透(簡稱RO)是膜分離技術(shù)的一種。其原理是：用足夠的壓力使溶液中的溶劑(通常指水)通過反滲透膜分離出水，因它的運行與自然界的正常滲透過程相反，故稱反滲透(或稱逆滲透)。隨著膜技術(shù)的發(fā)展，膜性能不斷提高，反滲透技術(shù)將發(fā)展成為進行分離、分級、提純和富集的化工分離新技術(shù)。
純水設(shè)備，簡單來說就是生產(chǎn)純凈水的設(shè)備。而反滲透系統(tǒng)作為純凈水生產(chǎn)的依托是非常重要的。所以要生產(chǎn)純凈水一定是要選擇原水水質(zhì)比較好的地方。如山泉、深井等。在這里牽扯到一個非常重要的指數(shù)就是“電導(dǎo)率”。一般而言電導(dǎo)率，越低。水越純凈?，F(xiàn)在采用的水處理工藝都是采用的反滲透系統(tǒng)。經(jīng)過處理后的水一般能達到90%——99%的脫鹽率。
純水設(shè)備工藝流程
源水箱→源水增壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性碳過濾器→陽樹脂軟化器→精密過濾器→一級RO反滲透純水系統(tǒng)→二級RO反滲透純水系統(tǒng)→水氣混合器→臭氧殺菌機→不銹鋼純水罐→ 全自動灌裝線

超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶片制造過程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個生產(chǎn)周期內(nèi)，一個晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會影響晶片的質(zhì)量，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品的報廢。水處理之家網(wǎng)認為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是保障半導(dǎo)體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡介
本方案以半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計等。
對于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時會引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計的過程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過程。不同凈化設(shè)備對各種雜質(zhì)的去除效率。對超純水水質(zhì)的指標要求：
二、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機臺使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標較差外，大部分指標都優(yōu)于市政供水，只要有針對性地設(shè)計一些凈化設(shè)備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達到節(jié)水環(huán)保的目的。當(dāng)然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時的特點，各部分的設(shè)計兼顧經(jīng)濟性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級反滲透—中間水箱—去有機物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點
四、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過濾器的大基團，而NaCl0具有殺菌，分解有機物的作用。
2.多介質(zhì)過濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對本工程大水量的特點而設(shè)計的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時使用熱交換器加熱反滲透進水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護反滲透膜。
5.一級反滲透：反滲透對除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計用于一級反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲存一級反滲透產(chǎn)水，收集工藝機臺使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導(dǎo)率而設(shè)計，同時可進一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹脂定時用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級制水：
1.去離子水箱：儲存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級制水系統(tǒng)的運行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護反滲透膜。
4.二級反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級反滲透可去除高達95％ 以上的各種離子和有機物。
5.中間水箱：儲存二級反滲透產(chǎn)水，充普通氮氣，隔絕空氣，以保護水質(zhì)不受污染。
6.去有機物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮氣吹掃的膜脫氣裝置可保證產(chǎn)水中溶氧達到小于lppb的要求，與早期的真空氮氣吹掃的填料塔相比，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮氣的優(yōu)點。

反滲透純水設(shè)備用于制藥機械加工用水，該設(shè)備主要采用反滲透技術(shù)和EDI技術(shù)，有效去除原水中的膠體、微生物、懸浮物、有機離子、等雜質(zhì)，出水電阻率可以達到18兆歐以上，完全滿足制藥機械加工用水需求。
工藝設(shè)計
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點
設(shè)備特點
放置位置要求：
1.系統(tǒng)四周應(yīng)留有足夠空間用以連接水管、電源和更換耗材。
2.機器請安裝在靠近水源、電源和水槽的位置。
水源要求：
1.以自來水為水源的系統(tǒng)，要求進水壓力要符合設(shè)備要求，進水管徑不得小于規(guī)定尺寸。(如果壓力較低將導(dǎo)致系統(tǒng)不能正常運轉(zhuǎn)、如果壓力較高將可能導(dǎo)致系統(tǒng)漏水。)
2.需考慮進水的硬度，如硬度較高，需首先對進水進行軟化處理。
3.以純化水為水源的系統(tǒng)，要求進水的TDS值需小于20PPM?；ば袠I(yè)中的高純水主要應(yīng)用于電池行溶劑用純水、化學(xué)分析、化工材料、產(chǎn)品清洗、物質(zhì)的分離、濃縮、提純，廢物回收等場合的用水，對于水質(zhì)要求相對來說不是太高，純水電導(dǎo)率從0.1uS/cm-20uS/cm就基本上能滿足要求。我們公司可根據(jù)客戶對水質(zhì)的具體要求，采用反滲透，離子交換，EDI等超純水生產(chǎn)工藝的不同組合，生產(chǎn)出即經(jīng)濟實用，又能滿足客戶要求的純水設(shè)備。
超純水傳統(tǒng)的制備工藝通常是采用離子交換樹脂進行制取，但采用離子交換樹脂通常需要經(jīng)常性的進行樹脂再生，即耗費物力又浪費人工，我們公司經(jīng)過多年實踐，同時結(jié)合較新的膜分離技術(shù)，常采用反滲透加離子交換系統(tǒng)(或EDI)相結(jié)合用來制備超純水，該工藝與傳統(tǒng)工藝相比具有運行成本低的優(yōu)點(離子交換器的再生周期延長)，運行可靠。與較新工藝相比具有造價低，耗材易得的優(yōu)點。反滲透工藝技術(shù)，可靠。
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