超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶片制造過程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個生產(chǎn)周期內(nèi)，一個晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會影響晶片的質(zhì)量，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品的報廢。水處理之家網(wǎng)認(rèn)為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是保障半導(dǎo)體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡介
本方案以半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細(xì)講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計等。
對于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時會引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計的過程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過程。不同凈化設(shè)備對各種雜質(zhì)的去除效率。對超純水水質(zhì)的指標(biāo)要求：
二、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機(jī)臺使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標(biāo)較差外，大部分指標(biāo)都優(yōu)于市政供水，只要有針對性地設(shè)計一些凈化設(shè)備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達(dá)到節(jié)水環(huán)保的目的。當(dāng)然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運(yùn)行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時的特點，各部分的設(shè)計兼顧經(jīng)濟(jì)性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級反滲透—中間水箱—去有機(jī)物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機(jī)物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點
四、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過濾器的大基團(tuán)，而NaCl0具有殺菌，分解有機(jī)物的作用。
2.多介質(zhì)過濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對本工程大水量的特點而設(shè)計的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時使用熱交換器加熱反滲透進(jìn)水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
5.一級反滲透：反滲透對除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計用于一級反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲存一級反滲透產(chǎn)水，收集工藝機(jī)臺使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機(jī)物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導(dǎo)率而設(shè)計，同時可進(jìn)一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹脂定時用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級制水：
1.去離子水箱：儲存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級制水系統(tǒng)的運(yùn)行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達(dá)到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
4.二級反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級反滲透可去除高達(dá)95％ 以上的各種離子和有機(jī)物。
5.中間水箱：儲存二級反滲透產(chǎn)水，充普通氮氣，隔絕空氣，以保護(hù)水質(zhì)不受污染。
6.去有機(jī)物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機(jī)物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達(dá)1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護(hù)膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮氣吹掃的膜脫氣裝置可保證產(chǎn)水中溶氧達(dá)到小于lppb的要求，與早期的真空氮氣吹掃的填料塔相比，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮氣的優(yōu)點。

純凈水設(shè)備廠家提供的設(shè)備清洗方案
長時間停用時要將設(shè)備中蓄水排空，保證水不斷流動才能生產(chǎn)出新鮮純凈水。因此，在反滲透純凈水設(shè)備長期停用時，要盡快將蓄水箱中存水排盡，防止蓄水變質(zhì)、滋生等情況出現(xiàn)。在設(shè)備恢復(fù)使用時，也要對其進(jìn)行反復(fù)清洗，保證設(shè)備干凈清潔。建議對設(shè)備進(jìn)行殺菌處理，向設(shè)備中注入殺菌液，浸泡一段時間后再反復(fù)沖洗，然后就可以恢復(fù)使用。在這一過程中，要避免殺菌液殘留在設(shè)備內(nèi)。
純凈水設(shè)備報價
純凈水設(shè)備
反滲透膜是整套設(shè)備中主要的水處理配件耗材，膜清洗是整個設(shè)備清洗過程的關(guān)鍵，只有保證反滲透膜安全衛(wèi)生，才能保證反滲透膜對原水產(chǎn)生過濾效果而不是污染水源。在使用過程中，僅僅對反滲透膜進(jìn)行沖洗遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠，因為簡單清洗只能將膜表面截留的大顆粒物質(zhì)去除，而不能將那些有害物質(zhì)清洗掉，因此需要殺菌液、化學(xué)清洗劑等藥劑來對反滲透膜進(jìn)行清洗。由于化學(xué)藥劑會對設(shè)備造成一定傷害，不建議經(jīng)常使用。
純凈水設(shè)備報價
純凈水設(shè)備
反滲透系統(tǒng)是的核心，因此應(yīng)采用正確的清洗規(guī)程對設(shè)備進(jìn)行清洗，以保證設(shè)備性能的穩(wěn)定性。

礦泉水設(shè)備使用范圍
1.用于 RO 系統(tǒng)的前置處理：可以把源水中的濁度降到 1NTU 以下，完全去除水中的懸浮物、膠體、有機(jī)物和類物質(zhì)，保證 RO 膜的穩(wěn)定的產(chǎn)水量和脫鹽率。
2.作為礦泉水設(shè)備、山泉水設(shè)備的主機(jī)部分：可以有效濾除礦泉水設(shè)備中的懸浮物、有機(jī)物、和大腸等有害物質(zhì)，使礦泉水的透明度明顯提高，而且保留了礦泉水中的對人體健康有益的各種礦物質(zhì)。
3.家庭、單位和生活小區(qū)集團(tuán)飲用凈水：對自來水進(jìn)行二次處理，不僅去除了水中大量的懸浮物、膠體和微粒，使自來水變得干凈、清沏透明，而且也除去了有機(jī)物、和大腸等致病的物質(zhì)，使自來水變成干凈衛(wèi)生的直飲水。
工藝流程
原水箱→反洗增壓泵→機(jī)械過濾器→活性碳過濾器→1μm精濾→超濾→臭氧→凈水箱
設(shè)備用途
◎飲料、飲用水的制備
◎礦泉水的澄清除菌
◎生活用水的處理
◎醫(yī)藥各級用水的處理
◎大型水處理設(shè)備的前處理
◎電子行業(yè)超純水的終端處理
◎工業(yè)廢水處理及有用物質(zhì)的回收
技術(shù)參數(shù)：
◎型號：LTLD
◎產(chǎn)水量：6-10噸/小時（可根據(jù)用戶要求而定）
◎截流分子量：1000－1000000MW
◎工作溫度：≤45℃
◎工作壓力：0.2－0.3Mpa
特點：
臭氧發(fā)生器：
采用國外技術(shù)，國內(nèi)產(chǎn)品。
單元產(chǎn)量高，能耗低。
運(yùn)行可靠，整體組合裝配。
臭氧膜氧化塔：
采用進(jìn)口填料，塔高降低1/3。
臭氧利用率和氧化效果優(yōu)于高塔。
精濾器：
介質(zhì)采用聚膜，抗氧化、耐腐蝕、抗生化、性使用。
體積小，過濾面積大。
可以過濾高價離子，避免水中出現(xiàn)沉淀。
組合式礦泉水水處理設(shè)備：
占地面積減少2/3。
完成了出廠前的所有水處理管件配置。

貴州0.5噸一級反滲透加EDI加拋光柱超純水設(shè)備 ，玻璃水用超純水設(shè)備
超純水初是美國科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來的水，如今超純水已在生物、、汽車等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有、、含氯等有機(jī)物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達(dá)到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。
超純水設(shè)備
采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。
超純水系統(tǒng)設(shè)備的脫鹽核心部件為進(jìn)口反滲透膜組件，超純水系統(tǒng)設(shè)備通常由預(yù)處理部分，反滲透主機(jī)部分，后處理部分共同組成。
1、預(yù)處理由石英砂過濾器、活性碳過濾器、全自動軟水器、精密過濾器組成(我司采用全自動控制閥頭)，也可選用超濾系統(tǒng)作為預(yù)處理，但通常工程造價要高。預(yù)處理主要目的是去除原水中含有的泥沙，鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物、色度、異味、生化有機(jī)物。當(dāng)原水中硬度較高時，可選擇全自動軟水器，這樣有效的保護(hù)了反滲透膜，從而延長了反滲透膜的使用壽命。
2、反滲透主機(jī)主要由高壓泵、膜殼、進(jìn)口反滲透膜組件，在線儀表、控制電氣等組成。只要膜的數(shù)量及泵的型號選型得當(dāng)，反滲透主機(jī)脫鹽率及產(chǎn)水量都能達(dá)到額定指標(biāo)，出水電導(dǎo)率可保證在≤10us. CM以下，(原水電導(dǎo)率小于500us/cm,工作溫度：1～40℃)
3、后處理部分是對反滲透制取的純水作進(jìn)一步的深化處理以制取超純水，通常是離子交換混床設(shè)備或EDI設(shè)備，根據(jù)客戶要求，出水阻率可達(dá)到18.2MΩ.CM，如果是應(yīng)用在直飲水工藝上，則加上殺菌裝置即可，通常為紫外線殺菌器或者臭氧發(fā)生器，從而使生產(chǎn)出來的水達(dá)到直飲標(biāo)準(zhǔn)。
交換反應(yīng)在模組的純化學(xué)室進(jìn)行，在那里陰離子交換樹脂用它們的氫氧根據(jù)離子(OH)來交換溶解鹽中的陰離了(如氯離子C1)。相應(yīng)地，陽離子交換樹脂用它們的氫離子(H)來交換溶解鹽中的陽離子(如Na)。
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