保安過(guò)濾器
采用保安過(guò)濾器對(duì)進(jìn)水中殘留的懸浮物、非曲直粒物及膠體等物質(zhì)去除，使超濾系統(tǒng)等后續(xù)設(shè)備運(yùn)行更安全、更可靠。濾芯為5um熔噴濾芯、目的防止上級(jí)過(guò)濾單元，漏掉的大于5um的雜質(zhì)除去。防止進(jìn)入超濾裝置損壞膜的表面，從而損壞膜的性能。
超濾裝置
超濾(UltraFiltration 簡(jiǎn)稱UF) 是溶液在壓力作用下溶劑與部分低分子量溶質(zhì)穿過(guò)膜上微孔到達(dá)膜的另一側(cè)而高分子溶質(zhì)或其它乳化膠束團(tuán)被截留實(shí)現(xiàn)從溶液中分離的目的。它的分離機(jī)理主要是靠物理的篩分作用。超濾分離時(shí)是在對(duì)料液施加一定壓力后，高分子物質(zhì)、膠體物質(zhì)因膜表面及微孔的一次吸附，在孔內(nèi)被阻塞而截留及膜表面的機(jī)械篩分作用等三種方式被超濾膜阻止，而水和低分子物質(zhì)通過(guò)膜。礦泉水、誰(shuí)泉水設(shè)備可利用超濾裝置有效除水中的膠體、化學(xué)有機(jī)物、重金屬、等大分子有機(jī)物，保留水中有益微量元素。
殺滅由二次污染產(chǎn)生的徹底保證成品水的衛(wèi)生指標(biāo).
礦泉水設(shè)備特點(diǎn)
自來(lái)水加壓泵用來(lái)提高系統(tǒng)供水壓力；多介質(zhì)過(guò)濾器可清除水中的懸浮物、雜質(zhì)等；活性炭過(guò)濾器可清除水中余氯、異味物質(zhì)和異味氣體，改善口感；精密過(guò)濾器進(jìn)一步去除水中雜質(zhì)，
中空超濾器可將水中雜質(zhì)、膠體、酚類化合物、氯化物、等各種有害物質(zhì)清除掉，并將水中有益的各類礦物質(zhì)保留在水中。
礦泉水設(shè)備用途
◎飲料、飲用水的制備
◎礦泉水的澄清除菌
◎生活用水的處理
◎醫(yī)藥各級(jí)用水的處理
◎大型水處理設(shè)備的前處理
◎電子行業(yè)超純水的終端處理
◎工業(yè)廢水處理及有用物質(zhì)的回收
礦泉水設(shè)備使用范圍
1.用于 RO 系統(tǒng)的前置處理：可以把源水中的濁度降到 1NTU 以下，完全去除水中的懸浮物、膠體、有機(jī)物和類物質(zhì)，保證 RO 膜的穩(wěn)定的產(chǎn)水量和脫鹽率。
2.作為礦泉水設(shè)備、山泉水設(shè)備的主機(jī)部分：可以有效濾除礦泉水設(shè)備中的懸浮物、有機(jī)物、和大腸等有害物質(zhì)，使礦泉水的透明度明顯提高，而且保留了礦泉水中的對(duì)人體健康有益的各種礦物質(zhì)。
3.家庭、單位和生活小區(qū)集團(tuán)飲用凈水：對(duì)自來(lái)水進(jìn)行二次處理，不僅去除了水中大量的懸浮物、膠體和微粒，使自來(lái)水變得干凈、清沏透明，而且也除去了有機(jī)物、和大腸等致病的物質(zhì)，使自來(lái)水變成干凈衛(wèi)生的直飲水。

超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶片制造過(guò)程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi)，一個(gè)晶片與超純水的接觸超過(guò)35次，在任何一個(gè)環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會(huì)影響晶片的質(zhì)量，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品的報(bào)廢。水處理之家網(wǎng)認(rèn)為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是保障半導(dǎo)體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡(jiǎn)介
本方案以半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細(xì)講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計(jì)等。
對(duì)于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對(duì)各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時(shí)會(huì)引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)的過(guò)程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個(gè)投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過(guò)程。不同凈化設(shè)備對(duì)各種雜質(zhì)的去除效率。對(duì)超純水水質(zhì)的指標(biāo)要求：
二、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級(jí)制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機(jī)臺(tái)使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標(biāo)較差外，大部分指標(biāo)都優(yōu)于市政供水，只要有針對(duì)性地設(shè)計(jì)一些凈化設(shè)備，完全可以將超過(guò)70％的超純水供水回收再利用，達(dá)到節(jié)水環(huán)保的目的。當(dāng)然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運(yùn)行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計(jì)充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過(guò)250噸小時(shí)的特點(diǎn)，各部分的設(shè)計(jì)兼顧經(jīng)濟(jì)性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來(lái)水—加藥—多介質(zhì)過(guò)濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過(guò)濾器—一級(jí)反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過(guò)濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過(guò)濾器—二級(jí)反滲透—中間水箱—去有機(jī)物紫外線—混床—0.45μm過(guò)濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機(jī)物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點(diǎn)
四、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過(guò)濾器的大基團(tuán)，而NaCl0具有殺菌，分解有機(jī)物的作用。
2.多介質(zhì)過(guò)濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過(guò)反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對(duì)本工程大水量的特點(diǎn)而設(shè)計(jì)的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時(shí)使用熱交換器加熱反滲透進(jìn)水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過(guò)濾器：過(guò)濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
5.一級(jí)反滲透：反滲透對(duì)除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計(jì)用于一級(jí)反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長(zhǎng)膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲(chǔ)存一級(jí)反滲透產(chǎn)水，收集工藝機(jī)臺(tái)使用過(guò)的回收純水。
7.活性炭過(guò)濾器：表面具有無(wú)數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機(jī)物，并通過(guò)反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽(yáng)離子樹(shù)脂床和陰離子樹(shù)脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽(yáng)離子，降低電導(dǎo)率而設(shè)計(jì)，同時(shí)可進(jìn)一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹(shù)脂定時(shí)用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級(jí)制水：
1.去離子水箱：儲(chǔ)存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級(jí)制水系統(tǒng)的運(yùn)行。
2.紫外線殺菌：波長(zhǎng)254nm的紫外線燈可達(dá)到殺菌的作用。
3.1um過(guò)濾器：過(guò)濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
4.二級(jí)反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級(jí)反滲透可去除高達(dá)95％ 以上的各種離子和有機(jī)物。
5.中間水箱：儲(chǔ)存二級(jí)反滲透產(chǎn)水，充普通氮?dú)猓艚^空氣，以保護(hù)水質(zhì)不受污染。
6.去有機(jī)物紫外線： 波長(zhǎng)1 85mm 的紫外線燈可分解有機(jī)物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽(yáng)離子樹(shù)脂，混床中使用的樹(shù)脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達(dá)1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過(guò)濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹(shù)脂微粒，以保護(hù)膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮?dú)獯祾叩哪っ摎庋b置可保證產(chǎn)水中溶氧達(dá)到小于lppb的要求，與早期的真空氮?dú)獯祾叩奶盍纤啾?，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮?dú)獾膬?yōu)點(diǎn)。

礦泉水設(shè)備技術(shù)是一種以篩分為分離原理、以壓力為推動(dòng)力的膜分離過(guò)程，過(guò)濾精度在0.005-0.01um范圍內(nèi)，可有效去除水中的微粒、膠體、及高分子有機(jī)物等?？蓮V泛應(yīng)用于物質(zhì)的分離、濃縮、提純。超濾過(guò)程無(wú)相轉(zhuǎn)化、具有良好的耐溫、耐酸堿和耐氧化性能。超濾膜采用不同的組建形式、膜材料及工藝設(shè)計(jì)，可以適應(yīng)各種不同的水質(zhì)條件及分離功能。
礦泉水設(shè)備是以膜兩側(cè)壓力差為動(dòng)力，以機(jī)械篩分原理為基礎(chǔ)的一種溶液分離，使用壓力通常為0.2MPa--0.6MPa分離孔徑1nm--0.1μm可廣泛應(yīng)用于物質(zhì)的分離、濃縮、提純。超濾過(guò)程無(wú)相轉(zhuǎn)化，常溫操作，對(duì)熱敏性物質(zhì)的分離尤為適宜，并具有良好的耐溫、耐酸堿和耐氧化性能，能在60℃以下，PH為2-11的條件下長(zhǎng)期連續(xù)使用。
管式超濾器流通狀況好，不易堵塞、易清洗，適用于電泳涂漆回收、果汁濃縮、硅溶膠生產(chǎn)、油水分離等應(yīng)用中。
卷式超濾器具有:①膜面積大；
②器體結(jié)構(gòu)緊湊；
③安裝、維護(hù)簡(jiǎn)單；
④占地少；
⑤較其它超濾器能耗低等優(yōu)點(diǎn)；
但較管式超濾器對(duì)預(yù)處理要求高
礦泉水設(shè)備生產(chǎn)工藝流程
原水箱→反洗增壓泵→機(jī)械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→1μm精濾→超濾→臭氧→凈水箱
礦泉水設(shè)備主要工藝流程說(shuō)明
原水罐（可選）
儲(chǔ)存原水，用于沉淀水中的大泥沙顆粒及其它可沉淀物質(zhì)。同時(shí)緩沖原水管中水壓不穩(wěn)定對(duì)水處理系統(tǒng)造成的沖擊。（如水壓過(guò)低或過(guò)高引起的壓力傳感的反應(yīng)）。
原水泵
恒定系統(tǒng)供水壓力，穩(wěn)定供水量。
多介質(zhì)過(guò)濾器
采用多次過(guò)濾層的過(guò)濾器，主要目的是去除原水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物等顆粒在20um以上的物質(zhì)，可選用手動(dòng)閥門(mén)控制或者全自動(dòng)控制器進(jìn)行反沖洗、正沖洗等一系列操作。保證設(shè)備的產(chǎn)水質(zhì)量，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。
活性炭過(guò)濾器
系統(tǒng)采用果殼活性炭過(guò)濾器，活性炭不但可吸附電解質(zhì)離子，還可進(jìn)行離子交換吸附。經(jīng)活性炭吸附還可使耗氧量（COD）由15mg/L(O2)降至2～7mg/L(O2)，此外，由于吸附作用使表面被吸附復(fù)制的濃度增加，因而還起到催化作用、去除水中的色素、異味、大量生化有機(jī)物、降低水的余氯值及農(nóng)藥污染物和除去水中的三鹵化物（THM）以及其它的污染物。同時(shí)，設(shè)備具有自我維護(hù)系統(tǒng)，運(yùn)行費(fèi)用很低。

水處理設(shè)備、純水設(shè)備、超純水設(shè)備、EDI高純水設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室超純水成套設(shè)備、家用純水機(jī)、鍋爐補(bǔ)給水軟化水設(shè)備、反滲透，RO反滲透等水處理設(shè)備；質(zhì)量保證！
超純水設(shè)備主要用途：
　超純水設(shè)備主要用于微電子產(chǎn)品生產(chǎn)用高純水，半導(dǎo)體、顯象管制造業(yè)用超純水，集成電路板生產(chǎn)清洗用超純水，蓄電池、鋰電池、太陽(yáng)能電池、干電池等生產(chǎn)用純水，高純水，超純水的制備。
超純水設(shè)備概述：
    超純水設(shè)備主要在半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，線寬越窄，對(duì)水質(zhì)的要求也越高。目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級(jí)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。
超純水設(shè)備特點(diǎn)：
   超純水設(shè)備通常由多介質(zhì)過(guò)濾器，活性碳過(guò)濾器，鈉離子軟化器、精密過(guò)濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床（EDI電除鹽系統(tǒng)）系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無(wú)人值守，同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
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