超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶片制造過程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi)，一個(gè)晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個(gè)環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會(huì)影響晶片的質(zhì)量，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品的報(bào)廢。水處理之家網(wǎng)認(rèn)為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是保障半導(dǎo)體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡介
本方案以半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細(xì)講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計(jì)等。
對(duì)于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對(duì)各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時(shí)會(huì)引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)的過程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個(gè)投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過程。不同凈化設(shè)備對(duì)各種雜質(zhì)的去除效率。對(duì)超純水水質(zhì)的指標(biāo)要求：
二、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級(jí)制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機(jī)臺(tái)使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標(biāo)較差外，大部分指標(biāo)都優(yōu)于市政供水，只要有針對(duì)性地設(shè)計(jì)一些凈化設(shè)備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達(dá)到節(jié)水環(huán)保的目的。當(dāng)然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運(yùn)行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計(jì)充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時(shí)的特點(diǎn)，各部分的設(shè)計(jì)兼顧經(jīng)濟(jì)性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級(jí)反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級(jí)反滲透—中間水箱—去有機(jī)物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機(jī)物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點(diǎn)
四、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過濾器的大基團(tuán)，而NaCl0具有殺菌，分解有機(jī)物的作用。
2.多介質(zhì)過濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對(duì)本工程大水量的特點(diǎn)而設(shè)計(jì)的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時(shí)使用熱交換器加熱反滲透進(jìn)水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
5.一級(jí)反滲透：反滲透對(duì)除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計(jì)用于一級(jí)反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲(chǔ)存一級(jí)反滲透產(chǎn)水，收集工藝機(jī)臺(tái)使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機(jī)物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導(dǎo)率而設(shè)計(jì)，同時(shí)可進(jìn)一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹脂定時(shí)用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級(jí)制水：
1.去離子水箱：儲(chǔ)存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級(jí)制水系統(tǒng)的運(yùn)行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達(dá)到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
4.二級(jí)反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級(jí)反滲透可去除高達(dá)95％ 以上的各種離子和有機(jī)物。
5.中間水箱：儲(chǔ)存二級(jí)反滲透產(chǎn)水，充普通氮?dú)?，隔絕空氣，以保護(hù)水質(zhì)不受污染。
6.去有機(jī)物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機(jī)物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達(dá)1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護(hù)膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮?dú)獯祾叩哪っ摎庋b置可保證產(chǎn)水中溶氧達(dá)到小于lppb的要求，與早期的真空氮?dú)獯祾叩奶盍纤啾龋哂忻摎饴矢?，占空間小，節(jié)省氮?dú)獾膬?yōu)點(diǎn)。

反滲透設(shè)備在工業(yè)、生活、農(nóng)作、制造、軍事等領(lǐng)域中，隨著科技的不斷發(fā)展及生活質(zhì)量指標(biāo)的不斷地提高，其水凈化設(shè)備在污水處理中有哪些優(yōu)勢(shì)？帶著這個(gè)疑問小編為你介紹水凈化設(shè)備在我們這些領(lǐng)域中所處的位置及其優(yōu)勢(shì)所在。
我們先了解水凈化設(shè)備的重要組成有哪些？環(huán)保生產(chǎn)的水凈化設(shè)備主要由原水灌、原水泵、多介質(zhì)過濾器、活性炭過濾器、離子軟化系統(tǒng)、加藥系統(tǒng)、精密過濾系統(tǒng)及紫外線殺毒器（一般用的二氧化氯消毒）等組成。在水凈化設(shè)備中，這些配置占市場主流，其各個(gè)就是所用的技術(shù)不一樣，水凈化設(shè)備達(dá)到國家環(huán)保出水標(biāo)準(zhǔn)，可實(shí)現(xiàn)用戶出水回用及灌溉達(dá)98.6%
水凈化設(shè)備的優(yōu)勢(shì)-多介質(zhì)過濾器
多介質(zhì)過濾器采用多次過濾層的過濾器，主要目的是去除原水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物等顆粒在20um以上的物質(zhì)，可選用手動(dòng)閥門控制或者全自動(dòng)控制器進(jìn)行反沖洗、正沖洗等一系列操作。保證設(shè)備的產(chǎn)水質(zhì)量，延長設(shè)備的使用壽命。
水凈化設(shè)備的優(yōu)勢(shì)之二-活性炭過濾器
活性炭過濾器采用果殼活性炭過濾器，活性炭不但可吸附電解質(zhì)離子，還可進(jìn)行離子交換吸附。經(jīng)活性炭吸附還可使耗氧量（COD）由15mg/L(O2)降至2～7mg/L(O2)，此外，由于吸附作用使表面被吸附復(fù)制的濃度增加，因而還起到催化作用、去除水中的色素、異味、大量生化有機(jī)物、降低水的余氯值及污染物和除去水中的三鹵化物（THM）以及其它的污染物。可選用手動(dòng)閥門控制或者全自動(dòng)控制器進(jìn)行反沖洗、正沖洗等一系列操作。保證設(shè)備的產(chǎn)水質(zhì)量，延長設(shè)備的使用壽命。同時(shí)，設(shè)備具有自我維護(hù)系統(tǒng)，運(yùn)行費(fèi)用很低。
水凈化設(shè)備優(yōu)勢(shì)之三-服務(wù)
電話支持：我們接到用戶的技術(shù)支持請(qǐng)求或故障報(bào)告后，將立即以電話方式同該單位取得聯(lián)系，并用戶解決問題；
遠(yuǎn)程連接服務(wù)：技術(shù)支持人員在客戶授權(quán)后，可通過遠(yuǎn)程連接進(jìn)入客戶的系統(tǒng)幫助客戶解決問題。可遠(yuǎn)程連接到客戶的系統(tǒng)在客戶的系統(tǒng)上做編程調(diào)整，從而確保系統(tǒng)為用戶產(chǎn)生的效益；
現(xiàn)場服務(wù)：在客戶授權(quán)的情況下，進(jìn)入客戶的產(chǎn)品基地，定期檢查系統(tǒng)運(yùn)行狀況，檢測產(chǎn)品未來可能出現(xiàn)的問題；如需現(xiàn)場了解判斷和解決問題，我公司將盡快安排以快的速度趕赴現(xiàn)場；
定期拜訪：產(chǎn)品進(jìn)入運(yùn)行階段后，我們安排每季度定期拜訪用戶，隨時(shí)監(jiān)測系統(tǒng)的運(yùn)行狀況，一方面預(yù)防故障的發(fā)生，另一方面對(duì)發(fā)生的各種問題及時(shí)做出響應(yīng)；
應(yīng)急解決方案：公司設(shè)立技術(shù)支持小組，保證突發(fā)事件發(fā)生時(shí)，能夠迅速召集技術(shù)人員，立即制定應(yīng)急技術(shù)方案；對(duì)一般性技術(shù)故障，可利用電話用戶自行解決；在用戶無法解決情況下，及時(shí)趕赴現(xiàn)場解決問題（見故障等級(jí)處理機(jī)制）。

純凈水設(shè)備，簡單來說就是生產(chǎn)純凈水的設(shè)備。而純凈水又被我們廣泛用于：生活飲用、化工、、養(yǎng)殖、種植、食品、飲料等。下面將為您簡單介紹一下設(shè)備組成的部件及生產(chǎn)純凈水的流程，希望能對(duì)大家了解這個(gè)行業(yè)提供一定的幫助。
技術(shù)特點(diǎn)
1、反滲透是在室溫條件下，采用無相變的物理方法將含鹽水進(jìn)行脫鹽、除鹽。超薄復(fù)合膜元件的脫鹽率可達(dá)到99.5%以上，并可同時(shí)去除水中的膠體、有機(jī)物、、等；
2、采用進(jìn)口反滲透膜，脫鹽率高，使用壽命長，運(yùn)行成本低廉；
3、采用全自動(dòng)預(yù)處理系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)無人化操作；
4、采用進(jìn)口格蘭富增壓泵，率低噪音，穩(wěn)定可靠；
5、在線水質(zhì)監(jiān)測控制，實(shí)時(shí)監(jiān)測水質(zhì)變化，保障水質(zhì)安全；
6、全自動(dòng)電控程序，還可選配觸摸屏操作，使用方便；
7、切合當(dāng)?shù)厮|(zhì)的個(gè)性化設(shè)計(jì)，滿足需求；
8、設(shè)備占地面積小，需要的空間也??；
9、反滲透裝置自動(dòng)化程度高，運(yùn)行維護(hù)和設(shè)備維護(hù)工作量很少；
10、水的處理僅依靠水的壓力作為推動(dòng)力，其能耗在許多處理工藝中；
11、不用大量的化學(xué)藥劑和酸、堿再生處理，無化學(xué)廢液排放，無環(huán)境污染；
12、反滲透可以連續(xù)運(yùn)行制水，系統(tǒng)簡單，操作方便，產(chǎn)品水質(zhì)穩(wěn)定。

量型：流量達(dá)到設(shè)定值時(shí)開始還原，適用于所有系統(tǒng)供水。軟化水設(shè)備,鍋爐軟化水設(shè)備
微電腦型：將水質(zhì)資料輸入微電腦．可自動(dòng)設(shè)置各程序的時(shí)間。如配用中央控制器，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制，適用于自動(dòng)化程度較高的樓宇自控等系統(tǒng)供水。
參數(shù)和使用要求：原水硬度：3-10mg-N／L(1mg-N／L=2.8德國度=50mg／LCaCO3硬度)，如原水硬度高于10mg-N／L,選型時(shí)加大一個(gè)型號(hào)或采用二級(jí)軟化。
●出水口硬度：≤0.03mg-N／L
●水壓：0.2-0.6Mpa
●工作溫度：2-50℃
●自控電源：220V，50Hz
●耗電量：<10W
●鹽耗：<100克／克當(dāng)量
全自動(dòng)軟化控制方式 　
A、 由一個(gè)交換罐、一個(gè)控制閥和一個(gè)鹽箱組成。再生控制方式分為時(shí)間型和流量型，再生時(shí)需停止產(chǎn)水2小時(shí)，適用于間歇供水場合，若需連續(xù)供水，可配置一個(gè)儲(chǔ)存2小時(shí)水量的水箱。
B、由一個(gè)控制閥控制兩臺(tái)交換罐交替供水，交替再生，實(shí)現(xiàn)不間斷供水，適用于連續(xù)供水的場合，再生方式為流量型。
C、由兩個(gè)控制閥，兩個(gè)交換罐和一個(gè)鹽箱組成，兩套罐交替供水．交替再生．連續(xù)供水．再生控制方式為流量型。
D、由兩個(gè)控制閥、兩個(gè)交換罐、兩個(gè)鹽箱組成，兩套罐同時(shí)供水，交替再生，連續(xù)供水，再生控制方式為流量型。軟化水設(shè)備產(chǎn)品結(jié)構(gòu)：
1. 進(jìn)口控制閥：閥體材質(zhì)為高強(qiáng)度輕質(zhì)耐腐蝕工程塑料、無鉛黃銅。軟化水設(shè)備,鍋爐軟化水設(shè)備,全自動(dòng)軟化水設(shè)備
2. 抗腐蝕罐體：罐體材質(zhì)為玻璃鋼（可選用碳鋼或不銹鋼襯塑罐體），罐體防腐、耐壓，使用壽命長。
3. 均勻布水系統(tǒng)：采用射流式布水，樹脂有效交換容量得以充分發(fā)揮，用鹽控制，無須鹽泵。
4. 進(jìn)口高性能樹脂：選用強(qiáng)酸性陽離子交換樹脂，破損率低，粒度均勻，提高離子交換率。
軟化水設(shè)備工作程序：
1. 供水：未處理的水通過樹脂層，發(fā)生交換反應(yīng)，產(chǎn)生軟水。
2. 反洗：水從樹脂層下部進(jìn)入，松動(dòng)樹脂，去除細(xì)碎雜物。
3. 進(jìn)鹽水再生：利用較高濃度的鹽水（Nacl）流過樹脂，將失效樹脂重新還原為鈉型可用樹脂。
4. 沖洗：按照供水時(shí)的流程使水通過樹脂沖洗掉多余的鹽液和再生交換下來的鈣、鎂離子。
5. 注水：向鹽箱內(nèi)注水，溶解食鹽，以備下次再生所用。
軟化水設(shè)備性能特點(diǎn)：
1. ：軟水器整體設(shè)計(jì)配套合理，使樹脂的有效工作交換容量得以充分發(fā)揮。
2. 省工：自動(dòng)化程度高，無需設(shè)專人值守。
3. 省水：軟水器制水率達(dá)98%以上。
4. 省電：采用虹吸再生原理，無需鹽泵，耗電量僅相當(dāng)于手動(dòng)軟水設(shè)備的1%。
5. 占地空間?。褐恍杼峁渲藓望}罐的占地空間，節(jié)省管路、鹽泵所占空間。
6. 調(diào)整方便：用戶可根據(jù)實(shí)際需要，自行調(diào)整再生周期和再生時(shí)間。
7. 運(yùn)行費(fèi)用低：由于自動(dòng)化程度高，軟水器能適應(yīng)水量變化，地計(jì)量產(chǎn)水量、計(jì)量再生劑的用量，避免了再生時(shí)再生劑無辜的浪費(fèi)，同時(shí)可節(jié)省大量的人工費(fèi)。 
軟化水裝置安裝要求：
1. 地基需水平，就近設(shè)置地漏或排水溝，以排走再生廢水。設(shè)備附近應(yīng)設(shè)立的電源插座。
2. 鹽箱應(yīng)靠近交換罐，吸鹽管越短越好。
3. 進(jìn)水管上應(yīng)安裝上Y型過濾器以及水表，出水口應(yīng)設(shè)取樣口。
4. 進(jìn)出水管上應(yīng)安裝手動(dòng)閥門，進(jìn)出水口之間應(yīng)設(shè)旁通閥，以便在再生或檢修時(shí)繼續(xù)供水。軟化水設(shè)備,鍋爐軟化水設(shè)備,全自動(dòng)軟化水設(shè)備
三、應(yīng)用范圍：系列全自動(dòng)軟水器：可廣泛應(yīng)用于蒸汽鍋爐、熱水鍋爐、交換器、蒸發(fā)冷凝器、空調(diào)、直燃機(jī)等系統(tǒng)的補(bǔ)給水的軟化。還可用于賓館、飯店、寫字樓、公寓等生活用水的處理及食品、飲料、釀酒、洗衣、印染、化工、醫(yī)藥等行業(yè)的軟化水處理。目前已廣泛應(yīng)用于各種蒸汽鍋爐、熱水鍋爐、熱交換器、蒸汽冷凝器、空調(diào)、直燃機(jī)等設(shè)備及系統(tǒng)的循環(huán)補(bǔ)給水中。此外還用作生活水處理，食品、電鍍、醫(yī)藥、化工、印染、紡織、電子等工業(yè)水處理以及作為脫鹽系統(tǒng)的前置處理。
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