反滲透技術(shù)是膜分離技術(shù)，與前置預(yù)處理系統(tǒng)配套使用；利用高壓泵的加壓，反滲透膜的截留，可有效去除水中固體溶解物、有機(jī)物、膠體、微生物以及等雜質(zhì)。具有應(yīng)用范圍廣、主動(dòng)化程度高、占地少、能耗低、出水水質(zhì)好。
反滲透主機(jī)組成
反滲透主機(jī)主要由增壓泵，膜殼，反滲透膜，控制電路等組成，是整個(gè)水處理系統(tǒng)中的核心部分，產(chǎn)水水質(zhì)的好主要也取決該部分。只要膜的型號及增壓泵的型號選取得當(dāng)，反滲透主機(jī)對水中鹽分的過濾能力都能達(dá)到99%以上，出水電導(dǎo)率可保證在10us/cm（25度）以內(nèi)。
反滲透原理
把相同體積的稀溶液（如淡水）和濃液（如海水或鹽水）分別置于一容器的兩側(cè)，中間用半透膜阻隔，稀溶液中的溶劑將自然的穿過半透膜，向濃溶液側(cè)流動(dòng)，濃溶液側(cè)的液面會(huì)比稀溶液的液面高出一定高度，形成一個(gè)壓力差，達(dá)到滲透平衡狀態(tài)，此種壓力差即為滲透壓滲透壓的大小決定于濃液的種類，濃度和溫度與半透膜的性質(zhì)無關(guān)。若在濃溶液側(cè)施加一個(gè)大于滲透壓的壓力時(shí)，濃溶液中的溶劑會(huì)向稀溶液流動(dòng)，此種溶劑的流動(dòng)方向與原來滲透的方向相反，這一過程稱為反滲透。
預(yù)處理
預(yù)處理常常由石英沙過濾裝置，活性碳過濾裝置，精密過濾裝置組成，主要目的是去除原水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物，色素、異味、生化有機(jī)物，降低水的余氨值及污染等有害的物質(zhì)。如果原水中鈣鎂離子含量較高時(shí)，還需增加軟水裝置，主要目的在于保護(hù)后級的反滲透膜不受大顆粒物質(zhì)的破，從而延長反透膜的使用壽命。
反滲透設(shè)備是圍繞反滲膜而組織成的一套水處理系統(tǒng)，一套完整的反滲透系統(tǒng)分別由預(yù)處理部分、反滲透主機(jī)（膜過濾部分）、后處理部分和系統(tǒng)清洗部分共同組成。

反滲透裝置（簡稱RO裝置）在除鹽系統(tǒng)中屬關(guān)鍵設(shè)備，裝置利用膜分離技術(shù)除去水中大部份離子、SiO2等，大幅降低TDS、減輕后續(xù)除鹽設(shè)備的運(yùn)行負(fù)荷。RO是將原水中的一部分沿與膜垂直的方向通過膜，水中的鹽類和膠體物質(zhì)將在膜表面濃縮，剩余一部分原水沿與膜平行的方向?qū)饪s的物質(zhì)帶走，在運(yùn)行過程中自清洗。膜元件的水通量越大，回收率越高則其膜表面濃縮的程度越高，由于濃縮作用，膜表面處的物質(zhì)溶度與主體水流中物質(zhì)濃度不同，產(chǎn)生濃差極化現(xiàn)象。濃差極化會(huì)使膜表面鹽的濃度高，膜的滲透壓，引起鹽透過率，和為提高給水的壓力而需要多消耗能量，此時(shí)應(yīng)采用清洗的方法進(jìn)行恢復(fù)。
一、結(jié)構(gòu)形式：
反滲透裝置由復(fù)合膜元件、玻璃鋼壓力容器、碳鋼滑架和儀表控制柜組成。儀表控制柜裝備電導(dǎo)、、壓力等各種儀表，便于用戶隨時(shí)檢測和實(shí)現(xiàn)裝置運(yùn)行自動(dòng)化。
二、性能參數(shù)表:
為了保證反滲透裝置安全正常的運(yùn)行，進(jìn)裝置的原水進(jìn)行適當(dāng)處理和調(diào)整以達(dá)到下列指示:
三、裝置安裝:
反滲透裝置的安裝必須按下列條件執(zhí)行：
１．裝置運(yùn)到現(xiàn)場后，應(yīng)放置于室內(nèi)，周圍環(huán)境溫度不得低于5℃，不得高于38℃。當(dāng)溫度高于35℃時(shí)，應(yīng)加強(qiáng)通風(fēng)措施。
２．裝置到達(dá)后，應(yīng)在一個(gè)月內(nèi)安裝完畢，并應(yīng)立即進(jìn)行通水試車運(yùn)行。
３．裝置在未進(jìn)行通水試車之前，任何閥門均不得開啟，以免保護(hù)溶液流出，致使元件損壞。
４．裝置就位后，應(yīng)調(diào)整裝置支承點(diǎn)，使組件處于基本水平的位置，且與基礎(chǔ)接觸可靠。
５．裝置與供水泵相接的管路及閥門在連接之前應(yīng)進(jìn)行脫脂處理，供水泵過流部份也應(yīng)進(jìn)行脫脂處理。
６．裝置的產(chǎn)水輸出管大輸出高度應(yīng)小于8米。
注：2、3點(diǎn)僅針對RO裝置內(nèi)已安裝膜元件的裝置。
四、調(diào)試步驟:
1. 對裝置的進(jìn)水進(jìn)行分析、測試，結(jié)果表明符合進(jìn)水要求，方可進(jìn)行裝置通水調(diào)試。
2. 對供水泵的壓力控制，水質(zhì)自動(dòng)監(jiān)測系統(tǒng)進(jìn)行調(diào)整。
3. 檢查裝置所有管道之間連接是否完善、壓力表是否齊全、低壓管道連接處是否緊密，有否短缺。
4. 開啟泵前排放閥，啟動(dòng)預(yù)處理設(shè)備，并調(diào)整至供水量大于裝置進(jìn)水量。
5. 全開各壓力表開關(guān)和進(jìn)水閥、濃排閥、產(chǎn)水排放閥。
6. 關(guān)閉泵前排放閥，待組件內(nèi)充滿水后，關(guān)閉裝置進(jìn)水閥。
7. 待高壓泵進(jìn)口壓力大于0.2MPa，啟動(dòng)高壓泵，并緩緩開啟裝置進(jìn)水閥同時(shí)關(guān)閉濃排閥，控制裝置總壓差小于0.3MPa，產(chǎn)水排放2分鐘后關(guān)閉產(chǎn)排閥，運(yùn)行15分鐘，并查各高、低壓管路、儀表是否工作正常。
8. 調(diào)整進(jìn)水閥、濃水出口閥使產(chǎn)水、濃水比例為 3 : 1 。
9. 檢測產(chǎn)品水電導(dǎo)率，符合要求時(shí)先開啟產(chǎn)品水出水閥，再關(guān)閉產(chǎn)水排放閥。
10. 調(diào)試過程應(yīng)注意事項(xiàng):
10-1調(diào)試過程中進(jìn)水壓力不得大于1.5MPa。
10-2如進(jìn)水溫度高于、低于25℃時(shí)，應(yīng)根據(jù)水溫--產(chǎn)水量曲線進(jìn)行修正，控制回收率為75 ％。
10-3裝置連續(xù)運(yùn)行4小時(shí)后，脫鹽率不能達(dá)到設(shè)計(jì)脫除率應(yīng)逐一檢查裝置中每個(gè)組件的脫鹽率，確定產(chǎn)生故障的組件后加以更換元件。
10-4發(fā)現(xiàn)高壓管路有漏水需排除時(shí)，裝置應(yīng)卸壓，嚴(yán)禁高壓狀況下松動(dòng)高壓接頭。
五、裝置的運(yùn)行操作管理:
1．嚴(yán)格控制進(jìn)水水質(zhì)，保證裝置在符合進(jìn)水指標(biāo)要求的水質(zhì)條件下運(yùn)行。
2．操作壓力控制，應(yīng)在滿足產(chǎn)水量與水質(zhì)的前提下，取盡量低的壓力值，這樣有利于降低膜的水通量衰減，減少膜的更換率。
3．進(jìn)水溫度控制，應(yīng)根據(jù)實(shí)際用水量，取鄰界壓力(進(jìn)水壓力低于該值脫鹽率產(chǎn)生明顯下降的壓力值)不能滿足產(chǎn)水量與水質(zhì)要求的至低溫度來作為該時(shí)間階段內(nèi)的進(jìn)水溫度。這樣可以降低膜水量的衰減。
4．排放量控制，由于水溫、操作壓力等因素的變化，使裝置的產(chǎn)水量也發(fā)生相應(yīng)的變化，這時(shí)應(yīng)對排放量進(jìn)行調(diào)整，控制排放量與產(chǎn)水量之間比例為1:2.5-1: 3，否則將影響裝置的脫鹽率。
5．夏季水溫偏高的操作對策:
5-1在保證后處理對進(jìn)水含鹽量要求的前提下，降低操作壓力。實(shí)施減壓操作。此對策為優(yōu)選對策。
5-2根據(jù)供水量要求，輪流關(guān)停反滲透(限于裝有二臺(tái)以上反滲透的工廠)，但關(guān)停時(shí)間不得大于(夏季)，否則容易造成膜面孳生，增加壓降。
6．裝置不得長時(shí)間停運(yùn)，每天至少運(yùn)行2小時(shí)。如準(zhǔn)備停機(jī)72小時(shí)以上，應(yīng)用化學(xué)清洗裝置向組件內(nèi)充裝1%亞硫酸氫鈉和18%甘油實(shí)施保護(hù)。
8．反滲透每次停機(jī)和啟動(dòng)都應(yīng)讓裝置在進(jìn)水壓力小于0.4MPa條件下沖洗15分鐘。
9．操作工應(yīng)在每2小時(shí)對運(yùn)行參數(shù)進(jìn)行記錄，主要內(nèi)容應(yīng)包括:
進(jìn)水: PH值、電導(dǎo)率、壓力、SDI、水溫。
產(chǎn)水: 電導(dǎo)率、、PH。
濃水: 、壓力。以及各段進(jìn)水壓力。
10．嚴(yán)禁未經(jīng)培訓(xùn)人員上崗操作。

超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶片制造過程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi)，一個(gè)晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個(gè)環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會(huì)影響晶片的質(zhì)量，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品的報(bào)廢。水處理之家網(wǎng)認(rèn)為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是保障半導(dǎo)體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡介
本方案以半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細(xì)講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計(jì)等。
對于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時(shí)會(huì)引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)的過程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個(gè)投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過程。不同凈化設(shè)備對各種雜質(zhì)的去除效率。對超純水水質(zhì)的指標(biāo)要求：
二、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機(jī)臺(tái)使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標(biāo)較差外，大部分指標(biāo)都優(yōu)于市政供水，只要有針對性地設(shè)計(jì)一些凈化設(shè)備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達(dá)到節(jié)水環(huán)保的目的。當(dāng)然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運(yùn)行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計(jì)充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時(shí)的特點(diǎn)，各部分的設(shè)計(jì)兼顧經(jīng)濟(jì)性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級反滲透—中間水箱—去有機(jī)物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機(jī)物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點(diǎn)
四、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過濾器的大基團(tuán)，而NaCl0具有殺菌，分解有機(jī)物的作用。
2.多介質(zhì)過濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對本工程大水量的特點(diǎn)而設(shè)計(jì)的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時(shí)使用熱交換器加熱反滲透進(jìn)水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
5.一級反滲透：反滲透對除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計(jì)用于一級反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲(chǔ)存一級反滲透產(chǎn)水，收集工藝機(jī)臺(tái)使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機(jī)物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導(dǎo)率而設(shè)計(jì)，同時(shí)可進(jìn)一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹脂定時(shí)用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級制水：
1.去離子水箱：儲(chǔ)存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級制水系統(tǒng)的運(yùn)行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達(dá)到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
4.二級反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級反滲透可去除高達(dá)95％ 以上的各種離子和有機(jī)物。
5.中間水箱：儲(chǔ)存二級反滲透產(chǎn)水，充普通氮?dú)?，隔絕空氣，以保護(hù)水質(zhì)不受污染。
6.去有機(jī)物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機(jī)物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達(dá)1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護(hù)膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮?dú)獯祾叩哪っ摎庋b置可保證產(chǎn)水中溶氧達(dá)到小于lppb的要求，與早期的真空氮?dú)獯祾叩奶盍纤啾?，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮?dú)獾膬?yōu)點(diǎn)。

如需了解反滲透設(shè)備價(jià)格，需將以下問題告訴我們。
1、要求的產(chǎn)水量（每天需要多少水或每小時(shí)需要多少水，產(chǎn)水量的大小直接影響價(jià)格的高低；
2、原水水源（自來水，地下水井水，河水，湖水...)，除了自來水，其它的水源，建議提供水質(zhì)報(bào)告，水源不一樣，處理的工藝也就不一樣，價(jià)格也會(huì)有一定的差異；
3、配置（需要配置還是一般配置，就是指水泵用國產(chǎn)的還是進(jìn)口的，反滲透膜用海德能的還是陶氏的...），或者是對設(shè)備還有其它方面的要求，自動(dòng)化程度對價(jià)格也起著決定的性的作用。
4、控制方式（用PLC全自動(dòng)控制,機(jī)頭控制或是手動(dòng)控制，自動(dòng)運(yùn)行)
5、出水水質(zhì)要達(dá)到什么標(biāo)準(zhǔn)，電導(dǎo)率或電阻率要達(dá)到多少，有什么用途
反滲透水處理技術(shù)的應(yīng)用及優(yōu)點(diǎn)--反滲透設(shè)備，反滲透設(shè)備，反滲透水處理設(shè)備
反滲透工藝技術(shù)是采用膜分離的水處理技術(shù)。隨著膜科學(xué)研究和制造工藝的進(jìn)步，反滲透水處理技術(shù)得到了迅速的發(fā)展。反滲透水處理技術(shù)的發(fā)展使之在所有水的淡化方式中占有地位，目前全世界范圍內(nèi)的反滲透裝置容量每天已超過1200萬/噸，20世紀(jì)90年代以來，每年仍在以20%的速度遞增。反滲透除在苦咸水、海水淡化中使用外，還廣泛用于純水制備、廢水處理及飲水、飲料和化工產(chǎn)品的濃縮、回收工藝等多種領(lǐng)域。
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