1.電子工業(yè)超純水概述
半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，線寬越窄，對水質(zhì)的要求也越高。
2.制備電子工業(yè)超純水的工藝流程
采用反滲透設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備進行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?
其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
3.電子工業(yè)超純水的應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水 
超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水； 
光學(xué)玻璃鍍膜、光電子及光纖 
超純材料和超純化學(xué)試劑 
汽車、家電表面拋光處理；
光電子產(chǎn)品；
其他高科技精微產(chǎn)品；
4設(shè)備特點： 
按需定制，柔性生產(chǎn) 
技術(shù)，品質(zhì)穩(wěn)定 
占地節(jié)省，維護簡易

我公司生產(chǎn)的，采用世界上的反滲透膜元件作預(yù)處理再配上EDI連續(xù)電除鹽裝置這是目前制取超純水經(jīng)濟，環(huán)保的超純水制備工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水，對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴.
我公司設(shè)計的EDI除鹽設(shè)備系統(tǒng)采用成熟、可靠、、自動化程度高的二級反滲透+EDI+精混床除鹽水處理工藝，確保處理后的超純水水質(zhì)確保處理后出水電阻率達到18.2 MΩNaN。EDI除鹽設(shè)備系統(tǒng)關(guān)鍵設(shè)備及材料均采用國際主流可靠產(chǎn)品，采用PLC＋觸摸屏控制，系統(tǒng)自動化程度高，系統(tǒng)穩(wěn)定性高。大大節(jié)省人力成本和維護成本，水利用率高，運行可靠，經(jīng)濟合理。使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。
我們公司生產(chǎn)EDI除鹽設(shè)備系統(tǒng)，有多年的生產(chǎn)經(jīng)驗，尤其在電控系統(tǒng)PLC方面在水處理行業(yè)技術(shù)都是比較成熟，我們也有做過很多各行業(yè)的水處理設(shè)備，這方面我們有豐富的經(jīng)驗。我們公司做出來的EDI除鹽設(shè)備系統(tǒng)質(zhì)量比同行具有更大的優(yōu)勢，在國內(nèi)具有一定的市場竟?fàn)幜?。該產(chǎn)品由于具備性能好、價格低于國外同類產(chǎn)品價格、供貨及時、售后服務(wù)方便快捷等諸多優(yōu)勢。在太陽能光伏電池、單/多晶硅、非晶硅、電子與半導(dǎo)體、鍋爐補給水、光電光學(xué)等企業(yè)的脫鹽水和超純水裝置，得到了業(yè)界的廣泛贊譽，歡迎廣大客戶前來參觀考察我公司的廠房及EDI超純水設(shè)備工程案例。

一、設(shè)計原理：
1．原 水：深井水或市政自來水。
2. 原水水質(zhì)報告：見原水檢驗報告書。
3. 系統(tǒng)設(shè)計進水參數(shù)：
水壓≥3.0kg    管路直徑為：≥DN50     水通量 ：≥18噸/小時
4、系統(tǒng)產(chǎn)水參數(shù)：
一級RO出水水量≥9噸/小時　       二級 RO出水水量≥6 噸/小時
5、出水水質(zhì)：
反滲透設(shè)備出水電導(dǎo)率≤10μS/cm，出水符合瓶（桶）裝飲用純凈水衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)
GB/T17324-2003
6．系統(tǒng)配置： 預(yù)處理系統(tǒng)→雙級反滲透系統(tǒng)→臭氧殺菌系統(tǒng)→灌裝線系統(tǒng)
7．運行方式：全自動控制運行。
8．設(shè)計界線：從原水箱出口至灌裝線。
9．其他涉及的設(shè)計基礎(chǔ)條件將在技術(shù)討論中確定。
10.地基要求：地基承載力≥5噸/平方。
11.廢水處理：排至設(shè)備就近下水管道/地溝（用戶考慮）。
12.系統(tǒng)要求水溫：5—25度。
13.設(shè)備周圍環(huán)境要求溫度：5—40度。
14．設(shè)備占地面積：100—200平方米。
15．設(shè)備現(xiàn)場排水預(yù)埋地漏、地溝；原水進水管道及閥門；設(shè)備所需總配電柜；屋內(nèi)照               明等由設(shè)備供應(yīng)方設(shè)計，設(shè)備需求方按要求做到位。
16、設(shè)備所有室內(nèi)地面需做自流地坪，墻面：灌裝間、風(fēng)淋室及更衣室按國家水廠無菌室制作要求來做，其余室內(nèi)墻面只需貼瓷磚。
二、系統(tǒng)工藝流程：
原水→原水箱→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性碳過濾器→阻垢劑添加系統(tǒng)→5微米精密過濾器  → 一級反滲透系統(tǒng)→中間水箱→二級反滲透系統(tǒng)→臭氧殺菌系統(tǒng)→純水箱→純水供水泵→灌裝線
三、主要工藝流程設(shè)備的說明：
1、 預(yù)處理部分：
預(yù)處理就是通過過濾、吸附、交換等方法使反滲透進水達到以下要求，實現(xiàn)以下目的：
（1）防止反滲透膜面結(jié)垢（包括CaCO3、CaSO4、SrSO4、CaF2、SiO2、鐵鋁氧化物等）；（2）防止膠體物質(zhì)及懸浮固體微粒對反滲透膜的污堵；
（3）防止有機物質(zhì)的對反滲透膜的污堵和降解；
（4） 防止微生物對反滲透膜的污堵；
（5）防止氧化性物質(zhì)對反滲透膜的氧化破壞；
2、預(yù)處理系統(tǒng)的組成及設(shè)計原因：
（1）設(shè)計組成:原水中含有多種雜質(zhì)，如懸浮物、膠體、有機物和無機物。為去除水中的懸浮物、膠體、有機物等，原水預(yù)處理部分設(shè)置有：多介質(zhì)過濾器（主要濾料有粒徑不同大小的凈水石英砂組成）、活性炭、樹脂軟化罐、5微米保安濾器等裝置。
（2）設(shè)計原因：預(yù)處理系統(tǒng)是根據(jù)原水水質(zhì)報告數(shù)據(jù)分析，結(jié)合公司多年實際經(jīng)驗，在保證設(shè)備運行中：科學(xué)、安全可靠的前提下得出的結(jié)論。反滲透進水水質(zhì)要求污染指數(shù)（SDI）≤4，濁度＜1NTU，余氯＜0.1mg/L，含量TBC＜10個/mL。水質(zhì)的好壞直接影響反滲透水處理設(shè)備的可靠性與安全性。
3、預(yù)處理分項功能說明：
（1） 原水箱、原水泵：
反滲透系統(tǒng)要求進水合格、壓力穩(wěn)定，屬于分批式供水。原水箱、原水泵用來提供足夠的進水和壓力及保證系統(tǒng)的運行穩(wěn)定。
（說明：原水泵≧18噸/小時、壓力≧3kg，兩個參數(shù)必須同時滿足）。
（2）多介質(zhì)過濾器主要功能：
其主要作用是去除粒度大于20微米的機械雜質(zhì)、經(jīng)過混凝的小分子有機物和部分膠體，使出水濁度小于0.5NTU，含鐵量小于0.05mg/L,  SDI≤5.
此系統(tǒng)設(shè)有全自動過濾閥頭、廠商為美國Fleck，能根據(jù)原水水質(zhì)條件來設(shè)定：
正洗和反洗的周期時間；能夠徹底的把原水中顆粒性物質(zhì)及泥沙下來、再
定期反沖洗把每天運行時所截留的淤泥、懸浮物等雜質(zhì)排除罐外，重新恢復(fù)濾料的
功能及延長其使用壽命；有效的保證下道工序進水要求。
（3）活性炭的主要功能 ：
反滲透設(shè)備要求進水的余氯含量小于0.1mg/l，因此采用活性炭濾器脫除原水中的余氯，防止反滲透膜受到污染。同時可以進一步吸附原水中的有機物?；钚蕴繛V器內(nèi)填精制耶殼型活性炭，用于吸附原水中的余氯、有機物、部分色素和有害物質(zhì)，降低化學(xué)耗氧量COD?；钚蕴勘粡V泛應(yīng)用于生活用水及食品工業(yè)、化工等工業(yè)用水的凈化，由于活性炭的比表面積很大，其表面又布滿了平均為20—30埃的微孔，因此，活性炭具有很高的吸附能力。此外，活性炭的表面有大量的羥基和羧基等官能團，可以對各種性質(zhì)的有機物質(zhì)進行化學(xué)吸附，以及靜電引力作用，因此，活性炭還能去除水中腐殖酸、富維酸、木質(zhì)磺酸等有機物質(zhì)，還可去除象余氯一類對反滲透膜有害的物質(zhì)，防止反滲透膜被氧化。通常能夠去除63%—86%膠體物質(zhì)，50%左右的鐵，以及47—60%的有機物質(zhì)。 活性炭脫出余氯的過程是一個簡單的氧化還原過程。此過程有可能使活性炭破碎，但破碎的活性炭并不影響脫出余氯的效果，因此活性炭脫出余氯的效果非常強。

反滲透裝置是將原水經(jīng)過精細過濾器、顆?；钚蕴歼^濾器、壓縮活性碳過濾器等,再通過泵加壓，利用孔徑為1/10000μm（相當(dāng)于大腸大小的1/6000，的1/300）的反滲透膜（RO膜），使較高濃度的水變?yōu)榈蜐舛人?，同時將工業(yè)污染物、重金屬、、等大量混入水中的雜質(zhì)全部隔離，從而達到飲用規(guī)定的理化指標(biāo)及衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)，產(chǎn)出至清至純的水，是人體及時補充水份的選擇。由于RO反滲透技術(shù)生產(chǎn)的水純凈度是目前人類掌握的一切制水技術(shù)中高的，所以人們稱這種產(chǎn)水機器為反滲透純凈水機。
反滲透裝置應(yīng)用膜分離技術(shù)，能有效地去除水中的帶電離子、無機物、膠體微粒、及有機物質(zhì)等。是高純水制備、苦咸水脫鹽和廢水處理工藝中的設(shè)備。廣泛用于電子、、食品、輕紡、化工、發(fā)電等領(lǐng)域。
反滲透技術(shù)因具有的優(yōu)越性而得到日益廣泛的應(yīng)用。反滲透凈水設(shè)備的清洗問題可能使許多技術(shù)力量不強的用戶遭受損失，所以要做好反滲透裝置的管理，就可以避免出現(xiàn)嚴重的問題。
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