1．設備基本技術特征
系統(tǒng)采用全自動控制，系統(tǒng)運行時可設定自動反洗、再生程序； 
一級反滲透和二級反滲透設有回流管道，反滲透設備設有化學清洗裝置和消毒裝置； 
在一級反滲透和二級反滲透間設有 PH調節(jié)裝置，以保證設備產水電導率符合藥典要求； 
二級反滲透膜采用帶正電荷的抗污染反滲透膜，以保證反滲透設備能長期穩(wěn)定運行； 
一級反滲透管路采用 304不銹鋼材料，二級反滲透采用 316L 不銹鋼材料； 
在級反滲透和第二級反滲透設備中均裝有在線電導檢測儀表，產水電導率可隨時觀看； 
一級反滲透前設有低壓保護開關，二級反滲透前設有低壓保護和高壓保護開關； 
一級、二級反滲透水回收率可調整，一級反滲透回收率 60％－65％，二級反滲透回收率70％； 
前處理裝置均采用原裝進口件；前處理設備間管路采用 UPVC管材。 
純化水儲水罐帶呼吸過濾器，輸送管道裝有紫外線殺菌器和微孔過濾器，保證純水符合衛(wèi)生要求。
2．我公司設備設計、生產、安裝
（1）結構設計應簡單、可靠、拆裝簡便。 
（2）為便于拆裝、更換、清洗零件，執(zhí)行機構的設計盡量采用的標準化、通用化、系統(tǒng)化零部件。 
（3）設備內外壁表面，要求光滑平整、無死角，容易清洗、滅菌。零件表面應做鍍鉻等表面處理，以耐腐蝕，防止生銹。設備外面避免用油漆，以防剝落。 
（4）制備純化水設備應采用低碳不銹鋼或其他經驗證不污染水質的材料。制備純化水的設備應定期清洗，并對清洗效果驗證。 
（5）用水接觸的材料必須是低碳不銹鋼或其他經驗證不對水質產生污染的 材料。制備用水的設備應定期清洗，并對清洗效果驗證。 
（6）純化水儲存周期不宜大于，其儲罐宜采用不銹鋼材料或經驗證無毒，耐腐蝕，不滲出污染離子的其他材料制作。保護其通氣口應安裝不脫落纖維的疏水性除菌濾器。儲罐內壁應光滑，接管和焊縫不應有死角和沙眼。應采用不會形成滯水污染的顯示液面、溫度壓力等參數(shù)的傳感器。對儲罐要定期清洗、消毒滅菌，并對清洗、滅菌效果驗證。 
（7）制藥用水的輸送 
1）純化水和制藥用水宜采用易拆卸清洗、消毒的不銹鋼泵輸送。在需用壓縮空氣或氮氣壓送的純化水和用水的場合，壓縮空氣和氮氣須凈化處理。 
2）純化水宜采用循環(huán)管路輸送。管路設計應簡潔，應避免盲管和死角。管路應采用不銹鋼管或經驗證無毒、耐腐蝕、不滲出污染離子的其他管材。閥門宜采用無死角的衛(wèi)生級閥門，輸送純化水應標明流向。
3）輸送純化水和用水的管道、輸送泵應定期清洗、消毒滅菌，驗證合格后方可投入使用。

超純水設備系統(tǒng)在半導體晶片制造過程中重起到至關重要的作用。在一個生產周期內，一個晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質不合格都會影響晶片的質量，甚至導致產品的報廢。水處理之家網(wǎng)認為，穩(wěn)定可靠的超純水設備系統(tǒng)是保障半導體晶片可持續(xù)生產的關鍵。
一、半導體晶片超純水設備系統(tǒng)簡介
本方案以半導體晶片生產用超純水設備系統(tǒng)為案例，詳細講解205T/H的超大型超純水設備系統(tǒng)設計特點、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設計等。
對于原水中的各種雜質，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設備基于不同的凈化原理，對各種雜質的去除效率各不相同，甚至某些設備在去除特定雜質的同時會引起其他雜質數(shù)值的上升。超純水設備系統(tǒng)設計的過程就是在滿足水質要求的前提下尋找一個投資與操作優(yōu)化的凈化設備組合方案的過程。不同凈化設備對各種雜質的去除效率。對超純水水質的指標要求：
二、半導體晶片超純水設備系統(tǒng)設計特點
典型的超純水設備系統(tǒng)流程可分為部分：預處理、初級制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經成為超純水設備系統(tǒng)設計必不可缺的一部分。一般而言，經工藝機臺使用的超純水除了PH值，電導率，TOC等指標較差外，大部分指標都優(yōu)于市政供水，只要有針對性地設計一些凈化設備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達到節(jié)水環(huán)保的目的。當然，回收率越高，其設備投資及操作運行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設計充分考慮到工程水質要求高，水量超過250噸小時的特點，各部分的設計兼顧經濟性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導體晶片超純水設備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級反滲透 —預處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級反滲透—中間水箱—去有機物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設備—冷卻箱—去有機物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點
四、半導體晶片超純水設備系統(tǒng)設計方案
預處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質過濾器的大基團，而NaCl0具有殺菌，分解有機物的作用。
2.多介質過濾器：去除原水中經絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對本工程大水量的特點而設計的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時使用熱交換器加熱反滲透進水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質。
4.10 u m預過濾器：過濾顆粒雜質，保護反滲透膜。
5.一級反滲透：反滲透對除了溶解氣體以外的大部分雜質都有較好的脫除效果。不同材質的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復合(TFC)膜低，本設計用于一級反滲透，作為預處理階段去除大量離子等雜質之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預處理水箱：儲存一級反滲透產水，收集工藝機臺使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預處理水尤其是回收純水中的有機物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導率而設計，同時可進一步純化預處理水，保證水質離子交換樹脂定時用酸堿再生后可反復使用。
初級制水：
1.去離子水箱：儲存去離子水，調節(jié)和平衡預處理系統(tǒng)和初級制水系統(tǒng)的運行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質，保護反滲透膜。
4.二級反滲透： 采用復合(TFC)膜的二級反滲透可去除高達95％ 以上的各種離子和有機物。
5.中間水箱：儲存二級反滲透產水，充普通氮氣，隔絕空氣，以保護水質不受污染。
6.去有機物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮氣吹掃的膜脫氣裝置可保證產水中溶氧達到小于lppb的要求，與早期的真空氮氣吹掃的填料塔相比，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮氣的優(yōu)點。

濕式反滲透膜元件基本上是由于生產廠商執(zhí)行的質量體系為全量檢測，要求每支出廠的反滲透膜元件都要進行標準溶液檢測，只要通過標準測試的反滲透膜元件才能作為合格產品出貨。
而干式反滲透膜元件廠家執(zhí)行的是產品抽檢體系，每個批次的膜元件進行抽檢標準溶液測試，抽檢后的膜元件為濕式膜元件，未檢測的膜元件為干式膜元件。
使用反滲透膜片的區(qū)別：常規(guī)的芳香族聚酰胺反滲透復合膜片的制造工藝大同小異，即把聚酯無紡布作為結構強度基層，在無紡布上預先涂敷一層高透水性微孔聚砜作為支撐層，然后通過界面重縮合法形成超薄膜的分離功能層，一般為濕膜。如需要干膜，還需將濕膜片進入干燥單元。因此，干膜片與濕膜片的區(qū)別在于干膜片是濕膜片經烘干制成。
反滲透膜元件卷制過程的區(qū)別：濕式膜元件使用的膜片為濕膜片，干式膜元件使用的膜片為干膜片，兩者的卷制工藝流程沒有明顯差異。
濕式反滲透膜膜元件的優(yōu)點：
1、濕式反滲透膜膜元件一般每支膜元件出廠前都進行過膜元件的性能檢測，都能保證每支出廠膜元件的性能達到了標準，杜絕了瑕疵膜元件產品的出廠。
2、濕式反滲透膜膜元件初始性能優(yōu)越，現(xiàn)場安裝后經過簡單的沖洗即可達到膜元件的Z好性能，節(jié)省啟動時間和沖洗水源。
3、濕式膜元件的反滲透基本性能一般優(yōu)越于干式膜元件，即膜元件的脫鹽率和產水量稍具優(yōu)勢。
濕式反滲透膜膜元件的缺點：
1、濕式膜元件需要用保護液或者其他防護措施，膜元件需要始終保持濕潤狀態(tài)及保持膜元件不發(fā)生微生物污染。
2、由于膜元件是濕潤狀態(tài)，冬季冰點以下的運輸Z好使用保溫車輛運輸或者到達目的地后需要在冰點以上的場所內進行保存。
干式反滲透膜膜元件的優(yōu)點：
1、干式膜元件的制造技術和設備相對復雜一些，但干式膜元件不用保護液或者其他防護措施，重量輕，運輸費用相對較低，膜元件存放時間較長。
2、干式膜元件由于沒有濕潤，冬季冰點以下運輸不用車輛，運輸方便，同時對保存場所的條件要求也低。
干式反滲透膜膜元件的缺點：
1、膜元件出廠前采用抽檢，不能保證每支出廠的膜元件的性能都能達到標準，出廠的膜元件有瑕疵的存在可能性。
2、膜元件裝入系統(tǒng)后初期性能偏低，需要長時間浸泡和沖洗，膜元件性能才能逐步達到Z佳狀態(tài)，浪費時間和沖洗水源。
3、膜元件的反滲透基本性能，即產水量和脫鹽率相對濕式膜元件一般稍低。

用純水對水質要求相對來說更加嚴格，更加高。常要求超純水的電阻值應高于15兆以上。為保證用超純水的用水安全，超純水的處理設備整個系統(tǒng)也都由全不銹鋼材質組合而成，而且在用水點之前都必須裝備殺菌裝置。我們公司從整個行業(yè)用超純水的特點出發(fā)，針對不同用戶對高純水的不同要求，采用反滲透，EDI等工藝，比較有針對性地設計出成套高純水處理工藝，以滿足藥廠、的純化水制取、大輸液制取的用水要求。
行業(yè)超純水設備的工藝
1、原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透設備→中間水箱→中間水泵→離子交換器→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點。
2、原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→級反滲透 →PH調節(jié)→中間水箱→第二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→ 微孔過濾器→用水點。
3、原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點。
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