超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶片制造過(guò)程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi)，一個(gè)晶片與超純水的接觸超過(guò)35次，在任何一個(gè)環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會(huì)影響晶片的質(zhì)量，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品的報(bào)廢。水處理之家網(wǎng)認(rèn)為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是保障半導(dǎo)體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡(jiǎn)介
本方案以半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細(xì)講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計(jì)等。
對(duì)于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對(duì)各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時(shí)會(huì)引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)的過(guò)程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個(gè)投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過(guò)程。不同凈化設(shè)備對(duì)各種雜質(zhì)的去除效率。對(duì)超純水水質(zhì)的指標(biāo)要求：
二、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級(jí)制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機(jī)臺(tái)使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標(biāo)較差外，大部分指標(biāo)都優(yōu)于市政供水，只要有針對(duì)性地設(shè)計(jì)一些凈化設(shè)備，完全可以將超過(guò)70％的超純水供水回收再利用，達(dá)到節(jié)水環(huán)保的目的。當(dāng)然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運(yùn)行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計(jì)充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過(guò)250噸小時(shí)的特點(diǎn)，各部分的設(shè)計(jì)兼顧經(jīng)濟(jì)性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來(lái)水—加藥—多介質(zhì)過(guò)濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過(guò)濾器—一級(jí)反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過(guò)濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過(guò)濾器—二級(jí)反滲透—中間水箱—去有機(jī)物紫外線—混床—0.45μm過(guò)濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機(jī)物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點(diǎn)
四、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過(guò)濾器的大基團(tuán)，而NaCl0具有殺菌，分解有機(jī)物的作用。
2.多介質(zhì)過(guò)濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過(guò)反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對(duì)本工程大水量的特點(diǎn)而設(shè)計(jì)的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時(shí)使用熱交換器加熱反滲透進(jìn)水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過(guò)濾器：過(guò)濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
5.一級(jí)反滲透：反滲透對(duì)除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計(jì)用于一級(jí)反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長(zhǎng)膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲(chǔ)存一級(jí)反滲透產(chǎn)水，收集工藝機(jī)臺(tái)使用過(guò)的回收純水。
7.活性炭過(guò)濾器：表面具有無(wú)數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機(jī)物，并通過(guò)反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽(yáng)離子樹(shù)脂床和陰離子樹(shù)脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽(yáng)離子，降低電導(dǎo)率而設(shè)計(jì)，同時(shí)可進(jìn)一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹(shù)脂定時(shí)用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級(jí)制水：
1.去離子水箱：儲(chǔ)存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級(jí)制水系統(tǒng)的運(yùn)行。
2.紫外線殺菌：波長(zhǎng)254nm的紫外線燈可達(dá)到殺菌的作用。
3.1um過(guò)濾器：過(guò)濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
4.二級(jí)反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級(jí)反滲透可去除高達(dá)95％ 以上的各種離子和有機(jī)物。
5.中間水箱：儲(chǔ)存二級(jí)反滲透產(chǎn)水，充普通氮?dú)?，隔絕空氣，以保護(hù)水質(zhì)不受污染。
6.去有機(jī)物紫外線： 波長(zhǎng)1 85mm 的紫外線燈可分解有機(jī)物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽(yáng)離子樹(shù)脂，混床中使用的樹(shù)脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達(dá)1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過(guò)濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹(shù)脂微粒，以保護(hù)膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮?dú)獯祾叩哪っ摎庋b置可保證產(chǎn)水中溶氧達(dá)到小于lppb的要求，與早期的真空氮?dú)獯祾叩奶盍纤啾?，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮?dú)獾膬?yōu)點(diǎn)。

反滲透純水設(shè)備簡(jiǎn)介：
1.反滲透純水設(shè)備采用全自動(dòng)控制方式，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)的操作，減少人為誤操作對(duì)設(shè)備帶的影響
2.預(yù)處理系統(tǒng)中采用還原系統(tǒng)的設(shè)計(jì)解決余氯過(guò)高對(duì)反滲透膜產(chǎn)生的不可修復(fù)的影響
3.在反滲透膜選型上選用進(jìn)口的陶氏反滲透膜，使用壽命可達(dá)3年，出水電導(dǎo)率低于5us。
4.在泵系列上選用南方特種SUS304不銹鋼水泵，運(yùn)行噪音低
5.使用陶氏公司的設(shè)計(jì)軟件，回收率可達(dá)到65%以上。
6.自動(dòng)化程度高、操作簡(jiǎn)單、水質(zhì)穩(wěn)定、運(yùn)營(yíng)成本低等特點(diǎn)深受廣大客戶**。并廣泛用于各行業(yè)的生產(chǎn)用水。
7.在管理模式上采用過(guò)程管理與持續(xù)改善理念，符合ISO9001要求，不斷滿足客戶需求，達(dá)到客戶滿意。
8.在銷售方式上，，無(wú)中間環(huán)節(jié)，為您較大程度上節(jié)省費(fèi)用。
設(shè)備各部件配件功能說(shuō)明：
1.自來(lái)水箱：主要解決自來(lái)水壓力不穩(wěn)定的問(wèn)題，減少提升泵在運(yùn)行過(guò)程中頻繁啟動(dòng)或受自來(lái)水壓力不穩(wěn)定帶來(lái)的機(jī)械故障。
2.石英砂過(guò)濾器：自來(lái)水從罐體上端進(jìn)入，經(jīng)過(guò)上布水器均勻從濾層上端流向下端。自來(lái)水經(jīng)過(guò)濾層后通過(guò)下布水器脫離濾層，形成過(guò)濾水。
3.活性碳過(guò)濾器：活性碳過(guò)濾器內(nèi)部結(jié)構(gòu)成石英砂過(guò)濾器完全一樣。經(jīng)過(guò)活性碳吸附后自來(lái)水的余氯一般可降到0.1mg/l 以下。
4.精密過(guò)濾器：主要使用5us的熔噴濾芯，可除去細(xì)小的顆粒，進(jìn)一步為反滲透進(jìn)水創(chuàng)造條件。
5.高壓泵：為反滲透運(yùn)行提供需要的動(dòng)力。
6.反滲透系統(tǒng)：反滲透系統(tǒng)是反滲透純水設(shè)備的核心部件，在反滲透的設(shè)計(jì)上主要考濾膜元件的數(shù)量、、排列問(wèn)題。
7.純水箱：用于儲(chǔ)存純水。
反滲透純水設(shè)備
的系統(tǒng)控制及優(yōu)勢(shì)：
反滲透純水設(shè)備
系統(tǒng)的控訴方式有手動(dòng)與自動(dòng)兩種控制，可達(dá)到下述要求：
1.自來(lái)水箱的自動(dòng)補(bǔ)水：自來(lái)水箱的液位到達(dá)低位時(shí)，進(jìn)行自動(dòng)補(bǔ)水。補(bǔ)水到高位時(shí)停止補(bǔ)水
2.自來(lái)水箱水位到達(dá)一定液位時(shí)，系統(tǒng)開(kāi)始工作，當(dāng)純水箱滿水時(shí)系統(tǒng)停止。
3.自來(lái)水箱處于低水位時(shí)，啟動(dòng)缺水保護(hù)，系統(tǒng)完全停止，手動(dòng)與自動(dòng)操作均不能進(jìn)行。
4.反滲透系統(tǒng)每次開(kāi)機(jī)時(shí)進(jìn)行開(kāi)機(jī)清洗，開(kāi)機(jī)清洗的時(shí)間控制在30秒左右（時(shí)間是可調(diào)節(jié)的），當(dāng)反滲透運(yùn)行一段時(shí)間后進(jìn)行定時(shí)清洗（時(shí)間是可調(diào)節(jié)的）。
5.當(dāng)預(yù)處理壓力達(dá)不到2kg時(shí)，反滲透主機(jī)受低壓力保護(hù)。
「我想咨詢反滲透純水設(shè)備價(jià)格>>>點(diǎn)擊進(jìn)入詢價(jià) 或撥打電話：400-9969-506】
工業(yè)流程表w.jpg
1.制造行業(yè)：   汽車      玻璃        鋼材          造紙          紡織等
2.電力行業(yè)：   鍋爐      火電        發(fā)電          冷卻         循環(huán)等
3.電鍍行業(yè)：   鍍膜      照明        冷卻          鍍金屬     LED燈等
4.電子行業(yè)：   電器      芯片        線路板      單片機(jī)     電子原件等
一級(jí)RO加混床.jpg
2噸每小時(shí)的反滲透純水設(shè)備多少錢？
(我們可做的規(guī)格：0.25T/H、0.5T/H、1T/H.....1000T/H不等)

礦泉水設(shè)備技術(shù)是一種以篩分為分離原理、以壓力為推動(dòng)力的膜分離過(guò)程，過(guò)濾精度在0.005-0.01um范圍內(nèi)，可有效去除水中的微粒、膠體、及高分子有機(jī)物等?？蓮V泛應(yīng)用于物質(zhì)的分離、濃縮、提純。超濾過(guò)程無(wú)相轉(zhuǎn)化、具有良好的耐溫、耐酸堿和耐氧化性能。超濾膜采用不同的組建形式、膜材料及工藝設(shè)計(jì)，可以適應(yīng)各種不同的水質(zhì)條件及分離功能。
礦泉水設(shè)備是以膜兩側(cè)壓力差為動(dòng)力，以機(jī)械篩分原理為基礎(chǔ)的一種溶液分離，使用壓力通常為0.2MPa--0.6MPa分離孔徑1nm--0.1μm可廣泛應(yīng)用于物質(zhì)的分離、濃縮、提純。超濾過(guò)程無(wú)相轉(zhuǎn)化，常溫操作，對(duì)熱敏性物質(zhì)的分離尤為適宜，并具有良好的耐溫、耐酸堿和耐氧化性能，能在60℃以下，PH為2-11的條件下長(zhǎng)期連續(xù)使用。
管式超濾器流通狀況好，不易堵塞、易清洗，適用于電泳涂漆回收、果汁濃縮、硅溶膠生產(chǎn)、油水分離等應(yīng)用中。
卷式超濾器具有:①膜面積大；
②器體結(jié)構(gòu)緊湊；
③安裝、維護(hù)簡(jiǎn)單；
④占地少；
⑤較其它超濾器能耗低等優(yōu)點(diǎn)；
但較管式超濾器對(duì)預(yù)處理要求高
礦泉水設(shè)備生產(chǎn)工藝流程
原水箱→反洗增壓泵→機(jī)械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→1μm精濾→超濾→臭氧→凈水箱
礦泉水設(shè)備主要工藝流程說(shuō)明
原水罐（可選）
儲(chǔ)存原水，用于沉淀水中的大泥沙顆粒及其它可沉淀物質(zhì)。同時(shí)緩沖原水管中水壓不穩(wěn)定對(duì)水處理系統(tǒng)造成的沖擊。（如水壓過(guò)低或過(guò)高引起的壓力傳感的反應(yīng)）。
原水泵
恒定系統(tǒng)供水壓力，穩(wěn)定供水量。
多介質(zhì)過(guò)濾器
采用多次過(guò)濾層的過(guò)濾器，主要目的是去除原水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物等顆粒在20um以上的物質(zhì)，可選用手動(dòng)閥門控制或者全自動(dòng)控制器進(jìn)行反沖洗、正沖洗等一系列操作。保證設(shè)備的產(chǎn)水質(zhì)量，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。
活性炭過(guò)濾器
系統(tǒng)采用果殼活性炭過(guò)濾器，活性炭不但可吸附電解質(zhì)離子，還可進(jìn)行離子交換吸附。經(jīng)活性炭吸附還可使耗氧量（COD）由15mg/L(O2)降至2～7mg/L(O2)，此外，由于吸附作用使表面被吸附復(fù)制的濃度增加，因而還起到催化作用、去除水中的色素、異味、大量生化有機(jī)物、降低水的余氯值及農(nóng)藥污染物和除去水中的三鹵化物（THM）以及其它的污染物。同時(shí)，設(shè)備具有自我維護(hù)系統(tǒng)，運(yùn)行費(fèi)用很低。

流程：
1、采用離子交換方式的電池行業(yè)用超純水其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→陽(yáng)樹(shù)脂過(guò)濾床→陰樹(shù)脂過(guò)濾床→陰陽(yáng)樹(shù)脂混床→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)
2、采用兩級(jí)反滲透方式的電池行業(yè)用超純水其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→級(jí)反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級(jí)反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)
3、采用EDI方式的電池行業(yè)用超純水其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→一級(jí)反滲透機(jī)→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)
現(xiàn)將電池行業(yè)用超純水的優(yōu)缺點(diǎn)分別列于下面：
1、種電池行業(yè)用超純水采用離子交換樹(shù)脂其優(yōu)點(diǎn)在于初投資少，占用的地方少，但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生，耗費(fèi)大量酸堿，而且對(duì)環(huán)境有一定的破壞性。
2、第二種電池行業(yè)用超純水采用兩級(jí)反滲透設(shè)備，其特點(diǎn)為初投次比采用離子交換樹(shù)脂方式要高，但無(wú)須樹(shù)脂再生。其缺點(diǎn)在于相關(guān)膜原件需定期清洗或更換，電池行業(yè)用超純水質(zhì)相對(duì)來(lái)說(shuō)不是太高，大都只能做到1us/cm左右，所以在不是要求更高的時(shí)候常采用一級(jí)反滲透后面再用混床(陰陽(yáng)復(fù)床)把關(guān)。
3、第三種電池行業(yè)用超純水采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子(EDI)裝置，這是目前制取電池行業(yè)用超純水經(jīng)濟(jì)，環(huán)保的超純水制備工藝，不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續(xù)制取超純水，對(duì)環(huán)境沒(méi)什么破壞性。其缺點(diǎn)在于初投資相對(duì)以上兩種方式過(guò)于昂貴
電子、半導(dǎo)體工業(yè)的芯片生產(chǎn)在制作過(guò)程中，往往需要使用極其純凈的超純水。如果純水水質(zhì)達(dá)不到生產(chǎn)工藝用水的要求或者水質(zhì)不穩(wěn)定的話，會(huì)影響到后續(xù)工藝的處理效果和使用壽命。此外，晶元清洗和機(jī)械碾磨過(guò)程中都會(huì)產(chǎn)生廢水，造成對(duì)環(huán)境的污染。
通過(guò)使用超濾、反滲透、EDI和核子級(jí)離子交換系統(tǒng)來(lái)生產(chǎn)滿足需求的超純水。并將生產(chǎn)過(guò)程中所產(chǎn)生的廢水經(jīng)過(guò)膜系統(tǒng)的處理進(jìn)行回收再利用，在很大程度上減少了電子、半導(dǎo)體行業(yè)的用水量、降低了生產(chǎn)成本行業(yè)純水設(shè)備技術(shù)方案工業(yè)純水設(shè)備技術(shù)維修反滲透純凈水設(shè)備方案設(shè)計(jì)
微電子行業(yè)包括了電解電容器生產(chǎn)、電子管生產(chǎn)、顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、液晶顯示器的生產(chǎn)、晶體管生產(chǎn)、集成電路生產(chǎn)、電子新材料生產(chǎn)等生產(chǎn)工藝，都需要工業(yè)超純水。傳統(tǒng)化學(xué)及介質(zhì)過(guò)濾生產(chǎn)超純水的方法，會(huì)因在水中添加各種化學(xué)劑，制備過(guò)程冗長(zhǎng)等各種因素造成產(chǎn)水的不穩(wěn)定，無(wú)法確保長(zhǎng)期、穩(wěn)定的超純水。行業(yè)純水設(shè)備技術(shù)方案工業(yè)純水設(shè)備技術(shù)維修反滲透純凈水設(shè)備方案設(shè)計(jì)
采用“物理”凈化法(超濾→反滲透→EDI→拋光混床)，使超純水制備從傳統(tǒng)的陽(yáng)離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復(fù)合離子交換器等發(fā)生了一次革命，從此進(jìn)入了一個(gè)無(wú)需再生化學(xué)品的時(shí)代。膜法制備出來(lái)的工業(yè)純水，其純度可達(dá)到18MΩ·CM，且系統(tǒng)穩(wěn)定，使用壽命長(zhǎng)，且生產(chǎn)過(guò)程所產(chǎn)生的廢水又可回用再生。
系統(tǒng)特點(diǎn)：
*該系統(tǒng)由單片機(jī)(PLC)控制，一切動(dòng)作均在預(yù)設(shè)程序下自動(dòng)進(jìn)行，具備全自動(dòng)功能(自動(dòng)制水、自動(dòng)沖洗、源水缺水/水箱滿水自動(dòng)停機(jī))。
*系統(tǒng)結(jié)構(gòu)布置緊湊，占地面積小，有效節(jié)約空間。
*系統(tǒng)能耗低，有效節(jié)約能源。
*耗材壽命長(zhǎng)，制水成本低廉。
*系統(tǒng)運(yùn)行可靠，供水管路封閉，出水水質(zhì)穩(wěn)定。
工藝簡(jiǎn)介：
本工藝由以下部分組成：預(yù)處理、雙級(jí)反滲透(DRO)、連續(xù)電除鹽(EDI)、紫外線殺菌(UV)、拋光混床(MB)、終端微濾(MF)。
預(yù)處理部分由多介質(zhì)過(guò)濾器、活性炭過(guò)濾器和全自動(dòng)軟水器組成。
反滲透裝置主要由高壓泵、反滲透膜和控制部分組成。
反滲透技術(shù)是一種率、低能耗能、無(wú)污染的技術(shù)，主要應(yīng)用于純水制備與海水淡化。反滲透技術(shù)是利用壓力差為動(dòng)力的膜分離過(guò)濾技術(shù)，通過(guò)壓力差將H2O與源水中的無(wú)機(jī)鹽、重金屬離子、有機(jī)物、膠體、、等雜質(zhì)嚴(yán)格分離。
一、 EDI技術(shù)簡(jiǎn)介
EDI(Eleectrodeionization)又稱連續(xù)電除鹽技術(shù)它科學(xué)地將電滲析技術(shù)和離子交換技術(shù)融為一體通過(guò)陽(yáng)、陰離子膜對(duì)陽(yáng)、陰離子的選擇透過(guò)作用以及離子交換樹(shù)脂對(duì)水中離子的交換作用，在電場(chǎng)的作用下實(shí)現(xiàn)水中離子的定向遷移，從而達(dá)到水的深度凈化除鹽，并通過(guò)水電解產(chǎn)生的氫離子和氫氧根離子對(duì)裝填樹(shù)脂進(jìn)行連續(xù)再生，因此E水過(guò)程不需要酸、堿化學(xué)藥品再生即可連續(xù)制取超純水，它具有技術(shù)、結(jié)構(gòu)緊湊、操作簡(jiǎn)便的優(yōu)點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于電力、電子、、化工、食品和實(shí)驗(yàn)室領(lǐng)域，是水處理技術(shù)的綠色革命。
http://xiningjiaxiao.com