超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶片制造過程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個生產(chǎn)周期內(nèi)，一個晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會影響晶片的質(zhì)量，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品的報廢。水處理之家網(wǎng)認(rèn)為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是保障半導(dǎo)體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡介
本方案以半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細(xì)講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計等。
對于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時會引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計的過程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過程。不同凈化設(shè)備對各種雜質(zhì)的去除效率。對超純水水質(zhì)的指標(biāo)要求：
二、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機(jī)臺使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標(biāo)較差外，大部分指標(biāo)都優(yōu)于市政供水，只要有針對性地設(shè)計一些凈化設(shè)備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達(dá)到節(jié)水環(huán)保的目的。當(dāng)然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時的特點，各部分的設(shè)計兼顧經(jīng)濟(jì)性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級反滲透—中間水箱—去有機(jī)物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機(jī)物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點
四、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過濾器的大基團(tuán)，而NaCl0具有殺菌，分解有機(jī)物的作用。
2.多介質(zhì)過濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對本工程大水量的特點而設(shè)計的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時使用熱交換器加熱反滲透進(jìn)水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
5.一級反滲透：反滲透對除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計用于一級反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲存一級反滲透產(chǎn)水，收集工藝機(jī)臺使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機(jī)物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導(dǎo)率而設(shè)計，同時可進(jìn)一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹脂定時用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級制水：
1.去離子水箱：儲存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級制水系統(tǒng)的運行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達(dá)到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
4.二級反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級反滲透可去除高達(dá)95％ 以上的各種離子和有機(jī)物。
5.中間水箱：儲存二級反滲透產(chǎn)水，充普通氮氣，隔絕空氣，以保護(hù)水質(zhì)不受污染。
6.去有機(jī)物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機(jī)物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達(dá)1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護(hù)膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮氣吹掃的膜脫氣裝置可保證產(chǎn)水中溶氧達(dá)到小于lppb的要求，與早期的真空氮氣吹掃的填料塔相比，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮氣的優(yōu)點。

我們在設(shè)計每小時五噸雙級純凈水設(shè)備時考慮到裝置運行時，壓力容器會根據(jù)具體壓力情況有所伸長。所以當(dāng)反滲透裝置組件和管道固定時，需要特別注意不能限制容器正常膨脹，不然會引起壓力容器翹曲，引起O型圈的密封泄漏。以下詳細(xì)介紹5噸/小時雙級純凈水設(shè)備設(shè)計方案。
每小時5噸雙級純凈水設(shè)備特點
我公司生產(chǎn)雙級純凈水設(shè)備采用進(jìn)口配件率達(dá)到百分之九十以上，設(shè)備操作自動化程度高，當(dāng)出現(xiàn)低壓滿水或高壓滿水會自動停機(jī)保護(hù)設(shè)備，我公司生產(chǎn)純凈水設(shè)備占地面積小，耗能低沒污染，而且出水水質(zhì)好，工藝簡單易操作維護(hù)。
5噸雙級純凈水設(shè)備品
該純凈水設(shè)備每小時產(chǎn)純凈水五噸，適合水源水質(zhì)好的中型水廠使用。設(shè)備采用反滲透技術(shù)進(jìn)行脫鹽處理，去除水中鈣鎂鐵鉛汞等對人體有害的重金屬物質(zhì)，于此同時降低了水的硬度，脫鹽率可達(dá)百分之九十以上，生產(chǎn)出水可達(dá)到國家規(guī)定純凈水標(biāo)準(zhǔn)。
我公司主營業(yè)務(wù)：水處理設(shè)備、純凈水設(shè)備、軟化水設(shè)備、鍋爐軟化水設(shè)備、純水機(jī)、超純水設(shè)備、水處理設(shè)備、反滲透設(shè)備、實驗室超純水設(shè)備、家用凈水設(shè)備、EDI水處理設(shè)備、電子超純水設(shè)備、直飲水設(shè)備、礦泉水生產(chǎn)設(shè)備、污水處理設(shè)備、生活污水處理設(shè)備、一體化污水處理設(shè)備、工業(yè)污水處理設(shè)備、電鍍污水處理設(shè)備，中水回用設(shè)備、廢水處理設(shè)備、工業(yè)廢水處理、化工廢水處理設(shè)備、印染廢水處理設(shè)備、造紙廢水處理設(shè)備、電鍍廢水處理設(shè)備、垃圾滲濾液處理設(shè)備、鉆井廢水處理設(shè)備等水處理設(shè)備及水處理設(shè)備配件、耗材供應(yīng)價！

一、學(xué)校直飲水設(shè)備的概述
現(xiàn)在的學(xué)生由于覺得學(xué)校的水不衛(wèi)生，養(yǎng)成了愛喝帶甜味、帶汽的飲料，不但容易使學(xué)生產(chǎn)生厭食厭水，長期下去還會使學(xué)生得營養(yǎng)缺乏癥。學(xué)校直飲水設(shè)備徹底解決了學(xué)校用水的安全衛(wèi)生問題。直飲水設(shè)備采用的反滲透技術(shù)凈水，另水價低廉，方便食用，直飲水設(shè)備具有節(jié)能環(huán)保的特點，徹底清除生產(chǎn)、包裝等不必要的浪費，利國利民。
二、學(xué)校直飲水的優(yōu)點
1、采用進(jìn)口逆滲透膜(RO膜，美國水質(zhì)協(xié)會合格產(chǎn)品)，運用目前國際上的逆滲透技術(shù)工藝制備純水。
2、五級過濾，綜合發(fā)揮各濾芯的有效作用，清除原水中的泥沙、懸浮物、膠體、有機(jī)物、重金屬、可溶性固體、、、熱源和其他有害物質(zhì)，僅保留水分子和溶解氧。
3、采用進(jìn)口靜音高壓泵，使用壽命長，運行質(zhì)量可靠。
4、預(yù)處理濾芯采用可更換方式，可有效保證預(yù)處理效果，且更換方便，換芯價格經(jīng)濟(jì)，產(chǎn)水運行成本低。
5、具有高壓沖洗逆滲透膜的功能，可有效延長RO膜的壽命。
6、制水過程自動控制，原水缺水停機(jī)，儲水桶水滿停機(jī)。
學(xué)校直飲水設(shè)備
三、學(xué)校直飲水設(shè)備的工藝流程
1、原水泵
原水泵是為原水預(yù)處理系統(tǒng)提供原水壓力的作用。如果原水有壓力就完全可以不用這個設(shè)備。一般要求原水壓力>=0.3MP。
2、原水箱
原水箱的作用更簡單，是儲存原水用的。這是怕原水萬一供不上作一個中轉(zhuǎn)。
3、石英砂過濾器
這個設(shè)備主要是過濾水中的微生物、塵土使原水達(dá)到清澈的目的。
4、活性炭過濾器
該設(shè)備主要是過濾水中的余氯。
5、加藥系統(tǒng)(陰陽離子交換系統(tǒng))
以前本系統(tǒng)為陰陽離子交換系統(tǒng)，但是操作起來非常不容易且費工，費料?，F(xiàn)在改為加藥系統(tǒng)直接向里添加阻垢劑。
四、學(xué)校直飲水設(shè)備的日常維護(hù)注意事項
4.1　低壓沖洗
定期對RO裝置進(jìn)行大、低壓力、低ph值的沖洗有利于剝除附著在RO膜表面上的污垢維持膜性能或當(dāng)進(jìn)水SDI突然升高超過5.5以上時應(yīng)進(jìn)行低壓沖洗待SDI值調(diào)至合格后再開機(jī)。
4.2停運保護(hù)
由于生產(chǎn)的波動，RO裝置不可避免地要經(jīng)常停運，RO短期或長期停用時必須采取保護(hù)措施，不適當(dāng)?shù)靥幚頃?dǎo)致膜性能下降且不可恢復(fù)。
短期保存適用于停運15d以下的RO系統(tǒng)可采用每1～3d低壓沖洗的方法來保護(hù)RO裝置。實踐發(fā)現(xiàn)水溫20℃以上時 ，RO裝置中的水存放3d就會發(fā)臭變質(zhì)有大量繁殖。因此建議水溫高于20℃時每2d或1d低壓沖洗一次，水溫低于20℃時可以每3d低壓沖洗一次，每次沖洗完后需關(guān)閉反滲透裝置上所有進(jìn)出口閥門。
長期停用保護(hù)適用于停運15d以上的系統(tǒng)，這時必須用保護(hù)液(殺菌劑)充入反滲透裝置進(jìn)行保護(hù)。常用殺菌劑配方(復(fù)合膜)為10%(質(zhì)量分?jǐn)?shù))、異噻唑啉酮20mg/l、亞硫酸氫鈉1%(質(zhì)量分?jǐn)?shù))。
以前常用的殺菌劑配方是，因其具有便宜、易得的優(yōu)點。但近來出于對環(huán)保和人體健康的考慮，異噻唑啉酮逐漸被重視但其在反滲透保護(hù)中的應(yīng)用尚未見報道。
4.3化學(xué)清洗
在正常運行條件下，反滲透膜也可能被無機(jī)物垢、膠體、微生物、金屬氧化物等污染這些物質(zhì)沉積在膜表面上會引起反滲透裝置出力下降或脫鹽率下降、壓差升高甚至對膜造成不可恢復(fù)的損傷，因此為了恢復(fù)良好的透水和除鹽性能需要對膜進(jìn)行化學(xué)清洗。
一般3～12個月清洗一次，如果每個月不得不清洗一次，這說明應(yīng)該改善RO的預(yù)處理系統(tǒng)調(diào)整RO的運行參數(shù)。如果1～3個月需要清洗一次，則需要提高設(shè)備的運行水平，是否需要改進(jìn)預(yù)處理系統(tǒng)較難判斷。

1.電子工業(yè)超純水概述
半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，線寬越窄，對水質(zhì)的要求也越高。
2.制備電子工業(yè)超純水的工藝流程
采用反滲透設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備進(jìn)行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?
其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
3.電子工業(yè)超純水的應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水 
超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水； 
光學(xué)玻璃鍍膜、光電子及光纖 
超純材料和超純化學(xué)試劑 
汽車、家電表面拋光處理；
光電子產(chǎn)品；
其他高科技精微產(chǎn)品；
4設(shè)備特點： 
按需定制，柔性生產(chǎn) 
技術(shù)，品質(zhì)穩(wěn)定 
占地節(jié)省，維護(hù)簡易
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