超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶片制造過程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi)，一個(gè)晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個(gè)環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會(huì)影響晶片的質(zhì)量，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品的報(bào)廢。水處理之家網(wǎng)認(rèn)為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是保障半導(dǎo)體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡(jiǎn)介
本方案以半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細(xì)講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計(jì)等。
對(duì)于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對(duì)各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時(shí)會(huì)引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)的過程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個(gè)投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過程。不同凈化設(shè)備對(duì)各種雜質(zhì)的去除效率。對(duì)超純水水質(zhì)的指標(biāo)要求：
二、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級(jí)制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機(jī)臺(tái)使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標(biāo)較差外，大部分指標(biāo)都優(yōu)于市政供水，只要有針對(duì)性地設(shè)計(jì)一些凈化設(shè)備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達(dá)到節(jié)水環(huán)保的目的。當(dāng)然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運(yùn)行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計(jì)充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時(shí)的特點(diǎn)，各部分的設(shè)計(jì)兼顧經(jīng)濟(jì)性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級(jí)反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級(jí)反滲透—中間水箱—去有機(jī)物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機(jī)物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點(diǎn)
四、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過濾器的大基團(tuán)，而NaCl0具有殺菌，分解有機(jī)物的作用。
2.多介質(zhì)過濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對(duì)本工程大水量的特點(diǎn)而設(shè)計(jì)的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時(shí)使用熱交換器加熱反滲透進(jìn)水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
5.一級(jí)反滲透：反滲透對(duì)除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計(jì)用于一級(jí)反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長(zhǎng)膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲(chǔ)存一級(jí)反滲透產(chǎn)水，收集工藝機(jī)臺(tái)使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機(jī)物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導(dǎo)率而設(shè)計(jì)，同時(shí)可進(jìn)一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹脂定時(shí)用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級(jí)制水：
1.去離子水箱：儲(chǔ)存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級(jí)制水系統(tǒng)的運(yùn)行。
2.紫外線殺菌：波長(zhǎng)254nm的紫外線燈可達(dá)到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
4.二級(jí)反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級(jí)反滲透可去除高達(dá)95％ 以上的各種離子和有機(jī)物。
5.中間水箱：儲(chǔ)存二級(jí)反滲透產(chǎn)水，充普通氮?dú)猓艚^空氣，以保護(hù)水質(zhì)不受污染。
6.去有機(jī)物紫外線： 波長(zhǎng)1 85mm 的紫外線燈可分解有機(jī)物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達(dá)1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護(hù)膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮?dú)獯祾叩哪っ摎庋b置可保證產(chǎn)水中溶氧達(dá)到小于lppb的要求，與早期的真空氮?dú)獯祾叩奶盍纤啾?，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮?dú)獾膬?yōu)點(diǎn)。

我們想要購(gòu)買一樣商品時(shí)首要考慮的是我們的所需，也就是所商品的主要用途。我們今天就了解一下實(shí)驗(yàn)室所用的超純水機(jī)的主要用途。實(shí)驗(yàn)室超純水機(jī)可以將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的設(shè)備。因此，實(shí)驗(yàn)室超純水機(jī)可以說是每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都不可缺的一個(gè)重要設(shè)備。
實(shí)驗(yàn)室超純水機(jī)產(chǎn)出的超純水主要用途說明：
1、、制劑室及中心實(shí)驗(yàn)室用純化水和高純水
2、各種用生化儀、分析儀、血液透析儀用水
3、各種液相色譜、離子色譜用水
4、其他各種實(shí)驗(yàn)室用水和用水。
5、分析試劑及配置稀釋用水
6、生理、病理、毒理學(xué)實(shí)驗(yàn)用水
7、動(dòng)、植物細(xì)培養(yǎng)用水
8、原子吸收光譜用水
9、用水

一、前言
直飲水，這種在發(fā)達(dá)國(guó)家普及了20年的飲水方式，近年開始流行于我國(guó)一些城市。1999年，廣東在中科院廣州地化所的傅家謨?cè)菏康奶嶙h下，決定投資約80億元，在珠江三角洲主要城市，建設(shè)以自來水直接飲用為目的分質(zhì)供水網(wǎng)。北京、上海、廣東等地的樓盤亦紛紛打出"水"牌，以顯示自身的卓而不群。
對(duì)酒店行業(yè)而言，實(shí)行直飲水終端供應(yīng)更是勢(shì)在必行。酒店餐飲部門使用高質(zhì)量的純凈水浸泡洗滌烹調(diào)食物，可更好地保證餐飲衛(wèi)生，進(jìn)而提高餐飲口味，滿足顧客對(duì)健康的要求，樹立良好口碑，吸引更多的客人。客房使用直飲水，為客人提供便利，提高酒店整體檔次。
全球健康用水已成為稀缺的資源之一。世界衛(wèi)生組織于去年10月公布威脅人類健康的，不潔飲水即位列其中。則指出，全球11億人缺乏安全飲水，每年500萬人死于同水有關(guān)的疾病。我國(guó)的水環(huán)境污染亦相當(dāng)嚴(yán)重，水系、主要湖泊污染嚴(yán)重，流經(jīng)城市的河流水質(zhì)90%%不符合飲用水水源標(biāo)準(zhǔn)，75%%的湖泊水域富營(yíng)養(yǎng)化。
二、使用直飲水的好處
1．提高酒店服務(wù)質(zhì)量
使酒店所有飲用水的TDS值低于40（TDS值代表污染指數(shù)，世界衛(wèi)生組織規(guī)定，飲用水的TDS值應(yīng)小于40），提高酒店服務(wù)質(zhì)量。
2．與國(guó)際接軌，提升酒店檔次
直飲水已成為國(guó)際酒店以及國(guó)內(nèi)高星級(jí)酒店*設(shè)施，是衡量酒店檔次水準(zhǔn)的標(biāo)志之一。在國(guó)外以及港澳臺(tái)地區(qū)，人們十分注重直飲水飲用，以及飯菜、飲料是否是用直飲水來制做。
3．注重服務(wù)細(xì)節(jié)，滿足客人高品位需求
提供飲水便利，使客人在客房中即可隨時(shí)飲用新鮮健康的RO水；同時(shí)提供更的洗漱用水，滿足客人高品位的需求。
4．制水成本低于桶裝純凈水
五加侖RO直飲水總成本（包括電費(fèi)、水費(fèi)、耗材及機(jī)器折舊）僅為0.3元/桶左右，遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于桶裝純凈水（一般為10元/桶），而水質(zhì)更加新鮮健康。詳情見附件。
三、產(chǎn)品特點(diǎn)
1、采用進(jìn)口逆滲透膜（RO膜，美國(guó)水質(zhì)協(xié)會(huì)合格產(chǎn)品），運(yùn)用目前國(guó)際上的逆滲透技術(shù)工藝制備純水；
2、五級(jí)過濾，綜合發(fā)揮各濾芯的有效作用，清除原水中的泥沙、懸浮物、膠體、有機(jī)物、重金屬、可溶性固體、、病毒、熱源和其他有害物質(zhì)，僅保留水分子和溶解氧；
3、采用進(jìn)口靜音高壓泵，使用壽命長(zhǎng)，運(yùn)行質(zhì)量可靠；
4、預(yù)處理濾芯采用可更換方式，可有效保證預(yù)處理效果，且更換方便，換芯價(jià)格經(jīng)濟(jì)，產(chǎn)水運(yùn)行成本低；
5、具有高壓沖洗逆滲透膜的功能，可有效延長(zhǎng)RO膜的壽命；
6、制水過程自動(dòng)控制，原水缺水停機(jī)，儲(chǔ)水桶水滿停機(jī)。

礦泉水設(shè)備使用范圍
1.用于 RO 系統(tǒng)的前置處理：可以把源水中的濁度降到 1NTU 以下，完全去除水中的懸浮物、膠體、有機(jī)物和類物質(zhì)，保證 RO 膜的穩(wěn)定的產(chǎn)水量和脫鹽率。
2.作為礦泉水設(shè)備、山泉水設(shè)備的主機(jī)部分：可以有效濾除礦泉水設(shè)備中的懸浮物、有機(jī)物、和大腸等有害物質(zhì)，使礦泉水的透明度明顯提高，而且保留了礦泉水中的對(duì)人體健康有益的各種礦物質(zhì)。
3.家庭、單位和生活小區(qū)集團(tuán)飲用凈水：對(duì)自來水進(jìn)行二次處理，不僅去除了水中大量的懸浮物、膠體和微粒，使自來水變得干凈、清沏透明，而且也除去了有機(jī)物、和大腸等致病的物質(zhì)，使自來水變成干凈衛(wèi)生的直飲水。
工藝流程
原水箱→反洗增壓泵→機(jī)械過濾器→活性碳過濾器→1μm精濾→超濾→臭氧→凈水箱
設(shè)備用途
◎飲料、飲用水的制備
◎礦泉水的澄清除菌
◎生活用水的處理
◎醫(yī)藥各級(jí)用水的處理
◎大型水處理設(shè)備的前處理
◎電子行業(yè)超純水的終端處理
◎工業(yè)廢水處理及有用物質(zhì)的回收
技術(shù)參數(shù)：
◎型號(hào)：LTLD
◎產(chǎn)水量：6-10噸/小時(shí)（可根據(jù)用戶要求而定）
◎截流分子量：1000－1000000MW
◎工作溫度：≤45℃
◎工作壓力：0.2－0.3Mpa
特點(diǎn)：
臭氧發(fā)生器：
采用國(guó)外技術(shù)，國(guó)內(nèi)產(chǎn)品。
單元產(chǎn)量高，能耗低。
運(yùn)行可靠，整體組合裝配。
臭氧膜氧化塔：
采用進(jìn)口填料，塔高降低1/3。
臭氧利用率和氧化效果優(yōu)于高塔。
精濾器：
介質(zhì)采用聚膜，抗氧化、耐腐蝕、抗生化、性使用。
體積小，過濾面積大。
可以過濾高價(jià)離子，避免水中出現(xiàn)沉淀。
組合式礦泉水水處理設(shè)備：
占地面積減少2/3。
完成了出廠前的所有水處理管件配置。
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