超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶片制造過程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個生產(chǎn)周期內(nèi)，一個晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會影響晶片的質(zhì)量，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品的報廢。水處理之家網(wǎng)認為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是保障半導(dǎo)體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡介
本方案以半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計等。
對于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時會引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計的過程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過程。不同凈化設(shè)備對各種雜質(zhì)的去除效率。對超純水水質(zhì)的指標要求：
二、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機臺使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標較差外，大部分指標都優(yōu)于市政供水，只要有針對性地設(shè)計一些凈化設(shè)備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達到節(jié)水環(huán)保的目的。當然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時的特點，各部分的設(shè)計兼顧經(jīng)濟性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級反滲透—中間水箱—去有機物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點
四、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過濾器的大基團，而NaCl0具有殺菌，分解有機物的作用。
2.多介質(zhì)過濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對本工程大水量的特點而設(shè)計的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時使用熱交換器加熱反滲透進水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護反滲透膜。
5.一級反滲透：反滲透對除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計用于一級反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲存一級反滲透產(chǎn)水，收集工藝機臺使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導(dǎo)率而設(shè)計，同時可進一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹脂定時用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級制水：
1.去離子水箱：儲存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級制水系統(tǒng)的運行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護反滲透膜。
4.二級反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級反滲透可去除高達95％ 以上的各種離子和有機物。
5.中間水箱：儲存二級反滲透產(chǎn)水，充普通氮氣，隔絕空氣，以保護水質(zhì)不受污染。
6.去有機物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮氣吹掃的膜脫氣裝置可保證產(chǎn)水中溶氧達到小于lppb的要求，與早期的真空氮氣吹掃的填料塔相比，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮氣的優(yōu)點。

選擇水處理生產(chǎn)設(shè)備時應(yīng)注意什么?我們?nèi)匀挥X得有很多種水處理生產(chǎn)設(shè)備。隨著當前市場的逐步發(fā)展和市場的快速變化，我們對水衛(wèi)生特別是水資源健康的研究越來越多。我們要注意整體細節(jié)，了解合理創(chuàng)新，審時度勢。改進。
如何選擇水處理生產(chǎn)設(shè)備?近年來水處理生產(chǎn)設(shè)備便宜嗎?我們必須遵循當前的選擇。嚴謹?shù)倪壿嬯P(guān)系強化了整體觀念。從原來的物理處理方法逐漸轉(zhuǎn)變?yōu)楝F(xiàn)在的化學(xué)試劑處理方法。特別是目前，設(shè)備對水資源的影響很大。注重選擇的細節(jié)，將對掌握水處理生產(chǎn)設(shè)備的選擇有新的調(diào)整。
選擇水處理生產(chǎn)設(shè)備要注意什么?了解軟化水使用的使用，強勢的定位到選擇的層次，需要引進水處理生產(chǎn)設(shè)備的原因，就是完全的表現(xiàn)出選擇合適的水處理生產(chǎn)設(shè)備，多層次、多市場的調(diào)整方案。這樣算來，未來選擇的理性，創(chuàng)新性的改善都將整個市場的調(diào)整，避免出現(xiàn)變化的重要思維。

反滲透凈水設(shè)備是將原水經(jīng)過精細過濾器、顆?；钚蕴歼^濾器、壓縮活性碳過濾器等，再通過泵加壓，利用孔徑為1/10000μm（相當于大腸大小的1/6000，的1/300）的反滲透膜（RO膜），使較高濃度的水變?yōu)榈蜐舛人瑫r將工業(yè)污染物、重金屬、、等大量混入水中的雜質(zhì)全部隔離，從而達到飲用規(guī)定的理化指標及衛(wèi)生標準，產(chǎn)出至清至純的水，是人體及時補充水份的選擇.由于RO反滲透技術(shù)生產(chǎn)的水純凈度是目前人類掌握的一切制水技術(shù)中的，所以人們稱這種產(chǎn)水機器為反滲透純凈水機。
反滲透是一種現(xiàn)代新型的純凈水處理技術(shù)。通過反滲透元件來提高水質(zhì)的純凈度，清除水中含有的雜質(zhì)和鹽。我們?nèi)粘Ｋ玫募儍羲际墙?jīng)過反滲透設(shè)備處理的，水質(zhì)清澈。
工藝流程
1、原水(深井水)——原水箱——原水增壓泵——多介質(zhì)過濾器——活性炭過濾器——樹脂軟化系統(tǒng)(或加藥系統(tǒng)、PH值調(diào)節(jié)系統(tǒng))——5微米精密過濾器——反滲透主機系統(tǒng)——臭氧殺菌系統(tǒng)——純凈水箱——灌裝線(或用水點)
2、 市政自來水——多介質(zhì)過濾器——活性炭過濾器——樹脂軟化系統(tǒng)(或加藥系統(tǒng)、PH值調(diào)節(jié)系統(tǒng))——5微米精密過濾器——反滲透主機系統(tǒng)——臭氧殺菌系統(tǒng)——純凈水箱——灌裝線(或用水點)
主要用途
⒈制取電子工業(yè)生產(chǎn)如顯像管玻殼、顯像管、液晶顯示器、線路板、計算機硬盤、集成電路?芯片、單晶硅半導(dǎo)體等工藝所需的純水、高純水；
⒉制取熱力、火力發(fā)電鍋爐，廠礦企業(yè)中、低壓鍋爐給水所需軟化水、除鹽純水；
⒊制取工業(yè)所需的大輸液、劑、藥劑、生化制品純水、無菌水及透析用純水等；
⒋制取飲料（含酒類）行業(yè)的飲用純凈水、蒸餾水、礦泉水，酒類釀造水和勾兌用純水；
⒌海水、苦咸水制取生活用水及飲用水；
⒍制取電鍍工藝用去離子水；電池（蓄電池）生產(chǎn)工藝的純水；汽車、家用電器、建材產(chǎn)品
表面涂裝、清洗沌水；鍍膜玻璃用純水；紡織印染工藝所需的除硬除鹽水；
⒎石油化工業(yè)如化工反應(yīng)冷卻水；化學(xué)藥劑、化肥及精細化工、化妝品制造過程用工藝純?水；
⒏賓館、樓宇、社區(qū)機場房產(chǎn)物業(yè)的供水網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)及游泳池水質(zhì)凈化；
⒐線路板、電鍍、電子工業(yè)廢水處理及回用；
⒑生活、、制革、印染、造紙工業(yè)廢水及垃圾滲瀝液的處理；

貴州反滲透設(shè)備，反滲透高純水設(shè)備常見問題總結(jié)
水處理設(shè)備的使用一方面為工業(yè)用水提供了方便，同時設(shè)備使用中也會發(fā)生各種小問題。小編為您整理了以下關(guān)于反滲透高純水設(shè)備常見的幾種問題，如果您在使用設(shè)備期間也遇到了相似的問題，請您打電話咨詢廠家！
反滲透高純水設(shè)備主要有以下12大常見問題：
1、給水壓力低的原因可能是：給水流速不適當；系統(tǒng)泄漏；高壓泵水壓力不足或泵部漏水、漏氣；精密過濾器濾芯污堵；高壓泵故障。
2、給水壓力高的原因可能是：高壓泵出口門調(diào)節(jié)不當；從高壓泵到反滲透器之間的管道堵塞；濃水調(diào)節(jié)門關(guān)的太緊或堵塞，濃水排放小；回收率太低。
3、回收率低的原因可能是：給水流速過高；給水壓力或濃度低。
4、回收率高的原因可能是：給水壓力過高；給水流速不足。
5、反滲透設(shè)備兩端壓降高的原因可能是：濃水流速高；膜元件污染。
6、高壓泵停止運轉(zhuǎn)的原因可能是：泵出水壓力過高(大于1.7MPa)；泵水壓力過低(小于0.05MPa)。
7、反滲透設(shè)備產(chǎn)水量降低的原因可能是：給水溫度低；給水壓力低；濃水濃度太高引起高的滲透壓；膜污染。
8、反滲透設(shè)備產(chǎn)水量的原因可能是：給水壓力高；給水溫度高。
9、反滲透設(shè)備產(chǎn)水電導(dǎo)和濃水電導(dǎo)率同時升高的原因可能是：濃水管道或濃水調(diào)節(jié)閥污堵；回收率過高。
10、反滲透設(shè)備產(chǎn)水電導(dǎo)率高，濃水電導(dǎo)率也高，每段壓力降也高的原因可能是：膜元件污染，限制了濃水流速。
11、反滲透設(shè)備產(chǎn)水電導(dǎo)率高，每段壓力容器兩端壓降，產(chǎn)品水低的原因可能是：膜元件污染。
12、每段壓力容器兩端壓降大，產(chǎn)品水低，產(chǎn)品水電導(dǎo)有所增加的原因可能是：膜元件通道污染、堵塞。
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