生產(chǎn)應用原理?了解他們的工作原理才能的更好的實行操作。超純水設備的工作過程通過交換羥基離子或氫氧根離子去除不想要的離子，然后將這些離子輸送到廢水流中。離子交換反應在組件的純化室中進行，在那里陰離子交換樹脂釋放出氫氧根離子(OH-)而從溶解鹽(如氯化物、Cl-)中獲得陰離子。同樣，陽離子交換樹脂釋放出氫離子(H+)而從溶解鹽中(如鈉、Na+)獲得陽離子。
一個直流(DC)電場通過放置在組件一端的陽極(+)和陰極(-)施加。電壓驅(qū)動這些被吸收的離子沿著樹脂球的表面移動，然后穿過薄膜進入濃水室。帶負電的陰離子(如OH-、Cl-)被吸引到陽極(+)。這些離子穿過陰離子選擇性薄膜，進入相鄰濃水室，而不會穿過相鄰的陽離子選擇性薄膜并滯留在濃水室，而且得以妥善處理。
在淡水室中帶正電的陽離子(如H+、Na+)被吸引到陰極(-)。這些離子穿過陽離子選擇性薄膜進入臨近的濃水室，他們在那里被臨近的陰離子選擇性薄膜阻擋，同時得以妥善處理。
在濃水室中EDI，仍然維持電中性。從兩個方向輸送過來的離子彼此相互中和。從電源流過來的電流跟移動離子的數(shù)目成比例。兩股水流(H+和OH-)趨勢離子都被輸送并且被加到所要求的電流之中。水流流過兩種不同類型的腔體，純化室中的離子就會耗盡，同時被收集到鄰近的濃水流之中，這就從組件中帶走了被去除的離子。
在純化室和(或)濃水室中使用離子交換樹脂是EDI技術(shù)和的一個關(guān)鍵。在純化室中還會發(fā)生一個重要現(xiàn)象，在電勢梯度高的特定區(qū)域，電化學"分解"能夠使水產(chǎn)生大量的H+和OH-離子。這些區(qū)域中產(chǎn)生的H+和OH-離子在混合的離子交換樹脂中可以使樹脂不斷再生，并且形成不需要外加化學試劑的薄膜。

工廠用純化水設備操作注意事項
1、不是水處理設備的操作人員一律不能進出水處理車間。
2、嚴格禁止未經(jīng)過培訓的人員隨便竄崗，時刻注意設備的運行狀態(tài)。
3、設備的操作人員必需每天調(diào)整好運行的壓力、、水質(zhì)、開機、停機、清洗時間的項目記錄。
4、不允許故障運行，一經(jīng)發(fā)現(xiàn)異常，應暫停運行并告知主管，有的維修人員負責排除故障。
純化水設備
5、活性過濾器開機時先開下排閥，再開進水閥。
6、纖維球過濾器再開機時，先打開相應的反洗閥，反洗至水質(zhì)合格后在開啟進出水閥，投入運行。
7、阻垢劑在開機前必須檢查是否滿足工作時的需要數(shù)量，達不到要求應補加阻垢劑，之后再開機運行。
8、打開增壓泵進水閥，啟動電源同時打開保安過濾器排氣閥，觀察出水水質(zhì)和壓力時候符合RO反滲透裝置的進水要求。
9、要嚴格按照使用所明書進行清洗、維護、保養(yǎng)。
10、遇到嚴重故障時，應當果斷關(guān)閉開關(guān)，確認故障排除后可解鎖并重新運行設備。

超純水設備系統(tǒng)在半導體晶片制造過程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個生產(chǎn)周期內(nèi)，一個晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會影響晶片的質(zhì)量，甚至導致產(chǎn)品的報廢。水處理之家網(wǎng)認為，穩(wěn)定可靠的超純水設備系統(tǒng)是保障半導體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導體晶片超純水設備系統(tǒng)簡介
本方案以半導體晶片生產(chǎn)用超純水設備系統(tǒng)為案例，詳細講解205T/H的超大型超純水設備系統(tǒng)設計特點、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設計等。
對于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設備基于不同的凈化原理，對各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設備在去除特定雜質(zhì)的同時會引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設備系統(tǒng)設計的過程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個投資與操作優(yōu)化的凈化設備組合方案的過程。不同凈化設備對各種雜質(zhì)的去除效率。對超純水水質(zhì)的指標要求：
二、半導體晶片超純水設備系統(tǒng)設計特點
典型的超純水設備系統(tǒng)流程可分為部分：預處理、初級制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設備系統(tǒng)設計必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機臺使用的超純水除了PH值，電導率，TOC等指標較差外，大部分指標都優(yōu)于市政供水，只要有針對性地設計一些凈化設備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達到節(jié)水環(huán)保的目的。當然，回收率越高，其設備投資及操作運行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設計充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時的特點，各部分的設計兼顧經(jīng)濟性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導體晶片超純水設備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級反滲透 —預處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級反滲透—中間水箱—去有機物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設備—冷卻箱—去有機物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點
四、半導體晶片超純水設備系統(tǒng)設計方案
預處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過濾器的大基團，而NaCl0具有殺菌，分解有機物的作用。
2.多介質(zhì)過濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對本工程大水量的特點而設計的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時使用熱交換器加熱反滲透進水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護反滲透膜。
5.一級反滲透：反滲透對除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復合(TFC)膜低，本設計用于一級反滲透，作為預處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預處理水箱：儲存一級反滲透產(chǎn)水，收集工藝機臺使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預處理水尤其是回收純水中的有機物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導率而設計，同時可進一步純化預處理水，保證水質(zhì)離子交換樹脂定時用酸堿再生后可反復使用。
初級制水：
1.去離子水箱：儲存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預處理系統(tǒng)和初級制水系統(tǒng)的運行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護反滲透膜。
4.二級反滲透： 采用復合(TFC)膜的二級反滲透可去除高達95％ 以上的各種離子和有機物。
5.中間水箱：儲存二級反滲透產(chǎn)水，充普通氮氣，隔絕空氣，以保護水質(zhì)不受污染。
6.去有機物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮氣吹掃的膜脫氣裝置可保證產(chǎn)水中溶氧達到小于lppb的要求，與早期的真空氮氣吹掃的填料塔相比，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮氣的優(yōu)點。

反滲透設備
RO反滲透原理及技術(shù)特點:
反滲透裝置是脫除水中鹽分和各種雜質(zhì)藉膜分離進行水處理的設備。它可以有效地除去原水中溶解的離子，除去有機物大分子以及、等有害污染物。
RO反滲透裝置采用美國進口膜元件，壓力容器及測量儀表等主要部件組裝，有較好的質(zhì)量價格比，也可根據(jù)用戶需要從美國進口原裝設備。
RO反滲透裝置的特點:
◆由美國進口膜元件組裝，單臺產(chǎn)水量0.5—200m3/h，多種反滲透產(chǎn)品系列供選用
◆采用耐腐蝕性能好的不銹鋼高壓泵，可選用國產(chǎn)的或國外進口
◆配有美國進口的在線產(chǎn)品水、濃水計，可選用濃水回表
◆可選用在線產(chǎn)品水電導率儀、PH計、自動沖洗、液位自動控制、高壓泵壓力自動控制
◆可選用PLC程序控制自動起停、加藥及沖洗
◆可配置有清洗系統(tǒng)，以備膜污染后清洗之用
◆采用不銹鋼精密過濾，配以聚丙烯濾芯
◆采用耐腐蝕噴涂鋼架或不銹鋼架
RO反滲透裝置適用領(lǐng)域:
苦咸水淡化：高氟地區(qū)飲用水；
高硬水硬度去除；發(fā)電廠、電子、制藥、金屬加工用線純水；
食品、飲料、罐裝純凈水用水；、實驗室用水。
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