超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導體晶片制造過程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個生產(chǎn)周期內(nèi)，一個晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會影響晶片的質(zhì)量，甚至導致產(chǎn)品的報廢。水處理之家網(wǎng)認為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是保障半導體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡介
本方案以半導體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計等。
對于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時會引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計的過程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過程。不同凈化設(shè)備對各種雜質(zhì)的去除效率。對超純水水質(zhì)的指標要求：
二、半導體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機臺使用的超純水除了PH值，電導率，TOC等指標較差外，大部分指標都優(yōu)于市政供水，只要有針對性地設(shè)計一些凈化設(shè)備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達到節(jié)水環(huán)保的目的。當然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時的特點，各部分的設(shè)計兼顧經(jīng)濟性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級反滲透—中間水箱—去有機物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點
四、半導體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過濾器的大基團，而NaCl0具有殺菌，分解有機物的作用。
2.多介質(zhì)過濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對本工程大水量的特點而設(shè)計的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時使用熱交換器加熱反滲透進水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護反滲透膜。
5.一級反滲透：反滲透對除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計用于一級反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲存一級反滲透產(chǎn)水，收集工藝機臺使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導率而設(shè)計，同時可進一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹脂定時用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級制水：
1.去離子水箱：儲存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級制水系統(tǒng)的運行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護反滲透膜。
4.二級反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級反滲透可去除高達95％ 以上的各種離子和有機物。
5.中間水箱：儲存二級反滲透產(chǎn)水，充普通氮氣，隔絕空氣，以保護水質(zhì)不受污染。
6.去有機物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮氣吹掃的膜脫氣裝置可保證產(chǎn)水中溶氧達到小于lppb的要求，與早期的真空氮氣吹掃的填料塔相比，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮氣的優(yōu)點。

反滲透凈水工藝流程：
1、原水泵—砂濾器—碳濾器—保安過濾器—高壓泵—反滲透—純水箱—紫外線殺菌器—恒壓供水泵
反滲透水處理設(shè)備，從名稱上理解此種純水設(shè)備主要部件是以反滲透膜為主要，用以去除水中的雜質(zhì)，達到生產(chǎn)及生活使用的純水；因此，對反滲透膜使用過程中的保護就顯得更加的重要；以下瀅源就反滲透水處理設(shè)備的主要部件選用做個簡單的述說：
    砂濾器：通過截留的方式，濾以去除水中顆粒性比較大的物質(zhì)，如：澡類、紅蟲、泥沙等，降低水中的濁度，保證后段工序不受濁度過大而受到污染。
    碳濾器：原水經(jīng)砂濾機后進入碳濾機吸附，由于活性碳的表面積很大，其表面以布滿了平均直徑為20-30埃的微孔，因此活性碳具有很高的吸附能力。此外，活性碳有大量的羥基和羧基等官能團，可以對各種性質(zhì)的有機物進行化學吸附，以及靜電引力作用，還可以去除象氯一類對反滲透有害的物質(zhì)，從而提高除鹽能力。能夠去除63%-86%膠體物質(zhì)；50%左右的鐵；以及47%-60%的有機物。
    保安過濾器：由于砂濾、碳濾、軟化在運行過程中通過磨擦會有細小顆粒的泄漏，為防止反滲透膜受到硬性物質(zhì)的污染，而造成致命性的損傷，因此需將SDI降低至5以下。
    高壓泵：根據(jù)反滲透的滲透原理，其本身不能夠自然的分離純水，而是需要通過一定的外界壓力使雜質(zhì)與純水分離，此時高壓泵在反滲透水處理設(shè)備中的使用就顯行至關(guān)重要了。
    紫外線殺菌器：過流式紫外燈能殺菌消毒，同時能分解水中多余的臭氧，使直飲水中臭氧濃度保持在安全范圍內(nèi)
三、反滲透凈水特點：
1、反滲透直飲水是在室溫條件下，采用無相變的物理方法將含鹽水進行脫鹽、除鹽。目前，超薄復(fù)合膜元件的脫鹽率可達到99.5%以上，同時去除水中的膠體、有機物、、病毒等。
2、采用進口反滲透膜，脫鹽率高，使用壽命長，運行成本低廉； 
3、采用全自動預(yù)處理系統(tǒng)，實現(xiàn)無人化操作； 
4、采用進口格蘭富增壓泵，率低噪音，穩(wěn)定可靠； 
5、在線水質(zhì)監(jiān)測控制，實時監(jiān)測水質(zhì)變化，保障水質(zhì)安全； 
6、全自動電控程序，還可選配觸摸屏操作，使用方便；
7、切合當?shù)厮|(zhì)的個性化設(shè)計，滿足需求。
8、反滲透裝置自動化程度高，運行維護和設(shè)備維護工作量很少。
9、水的處理僅依靠水的壓力作為推動力，其能耗在許多處理工藝中。
10、不用大量的化學藥劑和酸、堿再生處理，無化學費液排放，無環(huán)境污染。
11、反滲透可以連續(xù)運行制水，系統(tǒng)簡單，操作方便，產(chǎn)品水質(zhì)穩(wěn)定。
12、設(shè)備占地面積小，需要的空間也小。

反滲透純水設(shè)備簡介：
1.反滲透純水設(shè)備采用全自動控制方式，實現(xiàn)全自動的操作，減少人為誤操作對設(shè)備帶的影響
2.預(yù)處理系統(tǒng)中采用還原系統(tǒng)的設(shè)計解決余氯過高對反滲透膜產(chǎn)生的不可修復(fù)的影響
3.在反滲透膜選型上選用進口的陶氏反滲透膜，使用壽命可達3年，出水電導率低于5us。
4.在泵系列上選用南方特種SUS304不銹鋼水泵，運行噪音低
5.使用陶氏公司的設(shè)計軟件，回收率可達到65%以上。
6.自動化程度高、操作簡單、水質(zhì)穩(wěn)定、運營成本低等特點深受廣大客戶**。并廣泛用于各行業(yè)的生產(chǎn)用水。
7.在管理模式上采用過程管理與持續(xù)改善理念，符合ISO9001要求，不斷滿足客戶需求，達到客戶滿意。
8.在銷售方式上，，無中間環(huán)節(jié)，為您較大程度上節(jié)省費用。
設(shè)備各部件配件功能說明：
1.自來水箱：主要解決自來水壓力不穩(wěn)定的問題，減少提升泵在運行過程中頻繁啟動或受自來水壓力不穩(wěn)定帶來的機械故障。
2.石英砂過濾器：自來水從罐體上端進入，經(jīng)過上布水器均勻從濾層上端流向下端。自來水經(jīng)過濾層后通過下布水器脫離濾層，形成過濾水。
3.活性碳過濾器：活性碳過濾器內(nèi)部結(jié)構(gòu)成石英砂過濾器完全一樣。經(jīng)過活性碳吸附后自來水的余氯一般可降到0.1mg/l 以下。
4.精密過濾器：主要使用5us的熔噴濾芯，可除去細小的顆粒，進一步為反滲透進水創(chuàng)造條件。
5.高壓泵：為反滲透運行提供需要的動力。
6.反滲透系統(tǒng)：反滲透系統(tǒng)是反滲透純水設(shè)備的核心部件，在反滲透的設(shè)計上主要考濾膜元件的數(shù)量、、排列問題。
7.純水箱：用于儲存純水。
反滲透純水設(shè)備
的系統(tǒng)控制及優(yōu)勢：
反滲透純水設(shè)備
系統(tǒng)的控訴方式有手動與自動兩種控制，可達到下述要求：
1.自來水箱的自動補水：自來水箱的液位到達低位時，進行自動補水。補水到高位時停止補水
2.自來水箱水位到達一定液位時，系統(tǒng)開始工作，當純水箱滿水時系統(tǒng)停止。
3.自來水箱處于低水位時，啟動缺水保護，系統(tǒng)完全停止，手動與自動操作均不能進行。
4.反滲透系統(tǒng)每次開機時進行開機清洗，開機清洗的時間控制在30秒左右（時間是可調(diào)節(jié)的），當反滲透運行一段時間后進行定時清洗（時間是可調(diào)節(jié)的）。
5.當預(yù)處理壓力達不到2kg時，反滲透主機受低壓力保護。
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工業(yè)流程表w.jpg
1.制造行業(yè)：   汽車      玻璃        鋼材          造紙          紡織等
2.電力行業(yè)：   鍋爐      火電        發(fā)電          冷卻         循環(huán)等
3.電鍍行業(yè)：   鍍膜      照明        冷卻          鍍金屬     LED燈等
4.電子行業(yè)：   電器      芯片        線路板      單片機     電子原件等
一級RO加混床.jpg
2噸每小時的反滲透純水設(shè)備多少錢？
(我們可做的規(guī)格：0.25T/H、0.5T/H、1T/H.....1000T/H不等)

礦泉水設(shè)備使用范圍
1.用于 RO 系統(tǒng)的前置處理：可以把源水中的濁度降到 1NTU 以下，完全去除水中的懸浮物、膠體、有機物和類物質(zhì)，保證 RO 膜的穩(wěn)定的產(chǎn)水量和脫鹽率。
2.作為礦泉水設(shè)備、山泉水設(shè)備的主機部分：可以有效濾除礦泉水設(shè)備中的懸浮物、有機物、和大腸等有害物質(zhì)，使礦泉水的透明度明顯提高，而且保留了礦泉水中的對人體健康有益的各種礦物質(zhì)。
3.家庭、單位和生活小區(qū)集團飲用凈水：對自來水進行二次處理，不僅去除了水中大量的懸浮物、膠體和微粒，使自來水變得干凈、清沏透明，而且也除去了有機物、和大腸等致病的物質(zhì)，使自來水變成干凈衛(wèi)生的直飲水。
工藝流程
原水箱→反洗增壓泵→機械過濾器→活性碳過濾器→1μm精濾→超濾→臭氧→凈水箱
設(shè)備用途
◎飲料、飲用水的制備
◎礦泉水的澄清除菌
◎生活用水的處理
◎醫(yī)藥各級用水的處理
◎大型水處理設(shè)備的前處理
◎電子行業(yè)超純水的終端處理
◎工業(yè)廢水處理及有用物質(zhì)的回收
技術(shù)參數(shù)：
◎型號：LTLD
◎產(chǎn)水量：6-10噸/小時（可根據(jù)用戶要求而定）
◎截流分子量：1000－1000000MW
◎工作溫度：≤45℃
◎工作壓力：0.2－0.3Mpa
特點：
臭氧發(fā)生器：
采用國外技術(shù)，國內(nèi)產(chǎn)品。
單元產(chǎn)量高，能耗低。
運行可靠，整體組合裝配。
臭氧膜氧化塔：
采用進口填料，塔高降低1/3。
臭氧利用率和氧化效果優(yōu)于高塔。
精濾器：
介質(zhì)采用聚膜，抗氧化、耐腐蝕、抗生化、性使用。
體積小，過濾面積大。
可以過濾高價離子，避免水中出現(xiàn)沉淀。
組合式礦泉水水處理設(shè)備：
占地面積減少2/3。
完成了出廠前的所有水處理管件配置。
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