純凈水設(shè)備一般都是生產(chǎn)生活用水的，作為生活用水在要求方面肯定要嚴(yán)格很多，那么純凈水設(shè)備在使用之前需要先考慮3個(gè)方面。
1、自備一套余氯比色測(cè)定計(jì)。
目前所運(yùn)用的純凈水設(shè)備的膜多為低壓的聚酰胺膜，該膜在運(yùn)用中不耐氯，尤其在重金屬離子的效果下，易氧化形成損。自來(lái)水多含重金屬離子，在活性炭失效后，極易損膜。自來(lái)水余氯和有機(jī)物的含量是改變的，僅僅靠核算和估量是不行的，活性炭的失效要以測(cè)驗(yàn)為準(zhǔn)，這樣既可防止過(guò)早替換的糟蹋和過(guò)遲替換引起的膜損。該比色計(jì)的價(jià)格便宜，操作也方便。可在核算的替換期前10d開(kāi)端每天測(cè)定。
2、當(dāng)?shù)刈詠?lái)水的水質(zhì)陳述是必不可少的，盡管?chē)?guó)內(nèi)有一個(gè)自來(lái)水規(guī)范，但各地的自來(lái)水是不同的。
能夠從自來(lái)水公司獲得近期的水質(zhì)陳述，在購(gòu)買(mǎi)純凈水設(shè)備時(shí)提供給設(shè)備廠商，由廠商依據(jù)水質(zhì)陳述中的余氯核算斷定活性炭的大致替換周期，依據(jù)水質(zhì)陳述中的鈣、鎂等離子的濃度核算斷定回收率的規(guī)模、可能的污染及清洗的方法。
3、裝置純凈水設(shè)備時(shí)應(yīng)預(yù)留清洗和保養(yǎng)的進(jìn)出口。
因?yàn)橐惑w化設(shè)備無(wú)阻垢劑投加體系，結(jié)垢是不免的，加上運(yùn)轉(zhuǎn)中可能會(huì)呈現(xiàn)微生物和膠體等污染，因此清洗是有必要的。在冬天或長(zhǎng)時(shí)間不運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)保養(yǎng)、消毒也是必要的。在一體化設(shè)備的進(jìn)口端接上三通及閥門(mén)后別離接原水和清洗水箱。在清洗和保養(yǎng)時(shí)要取出活性炭。

超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶片制造過(guò)程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi)，一個(gè)晶片與超純水的接觸超過(guò)35次，在任何一個(gè)環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會(huì)影響晶片的質(zhì)量，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品的報(bào)廢。水處理之家網(wǎng)認(rèn)為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是保障半導(dǎo)體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡(jiǎn)介
本方案以半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細(xì)講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計(jì)等。
對(duì)于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對(duì)各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時(shí)會(huì)引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)的過(guò)程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個(gè)投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過(guò)程。不同凈化設(shè)備對(duì)各種雜質(zhì)的去除效率。對(duì)超純水水質(zhì)的指標(biāo)要求：
二、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級(jí)制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機(jī)臺(tái)使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標(biāo)較差外，大部分指標(biāo)都優(yōu)于市政供水，只要有針對(duì)性地設(shè)計(jì)一些凈化設(shè)備，完全可以將超過(guò)70％的超純水供水回收再利用，達(dá)到節(jié)水環(huán)保的目的。當(dāng)然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運(yùn)行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計(jì)充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過(guò)250噸小時(shí)的特點(diǎn)，各部分的設(shè)計(jì)兼顧經(jīng)濟(jì)性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來(lái)水—加藥—多介質(zhì)過(guò)濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過(guò)濾器—一級(jí)反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過(guò)濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過(guò)濾器—二級(jí)反滲透—中間水箱—去有機(jī)物紫外線—混床—0.45μm過(guò)濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機(jī)物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點(diǎn)
四、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過(guò)濾器的大基團(tuán)，而NaCl0具有殺菌，分解有機(jī)物的作用。
2.多介質(zhì)過(guò)濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過(guò)反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對(duì)本工程大水量的特點(diǎn)而設(shè)計(jì)的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時(shí)使用熱交換器加熱反滲透進(jìn)水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過(guò)濾器：過(guò)濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
5.一級(jí)反滲透：反滲透對(duì)除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計(jì)用于一級(jí)反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長(zhǎng)膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲(chǔ)存一級(jí)反滲透產(chǎn)水，收集工藝機(jī)臺(tái)使用過(guò)的回收純水。
7.活性炭過(guò)濾器：表面具有無(wú)數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機(jī)物，并通過(guò)反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽(yáng)離子樹(shù)脂床和陰離子樹(shù)脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽(yáng)離子，降低電導(dǎo)率而設(shè)計(jì)，同時(shí)可進(jìn)一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹(shù)脂定時(shí)用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級(jí)制水：
1.去離子水箱：儲(chǔ)存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級(jí)制水系統(tǒng)的運(yùn)行。
2.紫外線殺菌：波長(zhǎng)254nm的紫外線燈可達(dá)到殺菌的作用。
3.1um過(guò)濾器：過(guò)濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
4.二級(jí)反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級(jí)反滲透可去除高達(dá)95％ 以上的各種離子和有機(jī)物。
5.中間水箱：儲(chǔ)存二級(jí)反滲透產(chǎn)水，充普通氮?dú)猓艚^空氣，以保護(hù)水質(zhì)不受污染。
6.去有機(jī)物紫外線： 波長(zhǎng)1 85mm 的紫外線燈可分解有機(jī)物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽(yáng)離子樹(shù)脂，混床中使用的樹(shù)脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達(dá)1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過(guò)濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹(shù)脂微粒，以保護(hù)膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮?dú)獯祾叩哪っ摎庋b置可保證產(chǎn)水中溶氧達(dá)到小于lppb的要求，與早期的真空氮?dú)獯祾叩奶盍纤啾?，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮?dú)獾膬?yōu)點(diǎn)。

工業(yè)純水設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行及使用壽命，與日常的運(yùn)行管理息息相關(guān)，正確操作需注意以下事項(xiàng)。
1、反滲透膜的水解易造成反滲透裝置的性能惡化，因此要嚴(yán)格控制水的PH值，給水PH值在3-11范圍內(nèi)。
2、如果給水的FI值超標(biāo)，膜組件的表面會(huì)附著污垢，出現(xiàn)這種現(xiàn)象須進(jìn)行清洗。
3、因注入的次氯酸鈉量不足，造成給水中的游離氯不能測(cè)出時(shí)，工業(yè)純水設(shè)備的膜組件會(huì)有黏泥，使壓差增加，所以要嚴(yán)格控制進(jìn)入膜組件的游離氯量，制止超過(guò)規(guī)定值導(dǎo)致膜氧化分解。
4、給水不能超過(guò)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)值，否則會(huì)造成膜組件提前劣化。另外，濃水的不得小于設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)值，否則會(huì)使工業(yè)純水設(shè)備的壓力容器流動(dòng)不均勻，由過(guò)分濃縮使膜組件析出污垢。
5、高壓泵不可中斷運(yùn)轉(zhuǎn)，否則裝置容易故障。
工業(yè)純水設(shè)備
6、夏天給水溫度高，產(chǎn)水就多，減低操作壓力的話，會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)水水質(zhì)下降。因此，建議操作壓力保持，減少膜組件的數(shù)量便可。
7、冬季水溫下降，為了制止反滲透裝置停運(yùn)時(shí)析出二氧化硅，應(yīng)用低壓給水置換反滲透裝置內(nèi)的水。
8、如果沒(méi)有適當(dāng)?shù)膲簩?shí)，會(huì)減低工業(yè)純水設(shè)備除鹽率，因此壓力要保持適當(dāng)?shù)脑６取?br/>9、保安過(guò)濾器壓差加快上升，是因?yàn)闇啙岫鹊男孤?；出現(xiàn)壓差加快下降的現(xiàn)象，是元件緊固螺絲松動(dòng)，或是精密過(guò)濾器元件破損等原因造成的。
10、如果工業(yè)純水設(shè)備和出口的壓差超標(biāo)，說(shuō)明給水在設(shè)計(jì)值以上，或者是膜面受到污染。重新調(diào)整，或者更換膜元件便可。

1．設(shè)備基本技術(shù)特征
系統(tǒng)采用全自動(dòng)控制，系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)可設(shè)定自動(dòng)反洗、再生程序； 
一級(jí)反滲透和二級(jí)反滲透設(shè)有回流管道，反滲透設(shè)備設(shè)有化學(xué)清洗裝置和消毒裝置； 
在一級(jí)反滲透和二級(jí)反滲透間設(shè)有 PH調(diào)節(jié)裝置，以保證設(shè)備產(chǎn)水電導(dǎo)率符合藥典要求； 
二級(jí)反滲透膜采用帶正電荷的抗污染反滲透膜，以保證反滲透設(shè)備能長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行； 
一級(jí)反滲透管路采用 304不銹鋼材料，二級(jí)反滲透采用 316L 不銹鋼材料； 
在級(jí)反滲透和第二級(jí)反滲透設(shè)備中均裝有在線電導(dǎo)檢測(cè)儀表，產(chǎn)水電導(dǎo)率可隨時(shí)觀看； 
一級(jí)反滲透前設(shè)有低壓保護(hù)開(kāi)關(guān)，二級(jí)反滲透前設(shè)有低壓保護(hù)和高壓保護(hù)開(kāi)關(guān)； 
一級(jí)、二級(jí)反滲透水回收率可調(diào)整，一級(jí)反滲透回收率 60％－65％，二級(jí)反滲透回收率70％； 
前處理裝置均采用原裝進(jìn)口件；前處理設(shè)備間管路采用 UPVC管材。 
純化水儲(chǔ)水罐帶呼吸過(guò)濾器，輸送管道裝有紫外線殺菌器和微孔過(guò)濾器，保證純水符合衛(wèi)生要求。
2．我公司設(shè)備設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、安裝
（1）結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)應(yīng)簡(jiǎn)單、可靠、拆裝簡(jiǎn)便。 
（2）為便于拆裝、更換、清洗零件，執(zhí)行機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)盡量采用的標(biāo)準(zhǔn)化、通用化、系統(tǒng)化零部件。 
（3）設(shè)備內(nèi)外壁表面，要求光滑平整、無(wú)死角，容易清洗、滅菌。零件表面應(yīng)做鍍鉻等表面處理，以耐腐蝕，防止生銹。設(shè)備外面避免用油漆，以防剝落。 
（4）制備純化水設(shè)備應(yīng)采用低碳不銹鋼或其他經(jīng)驗(yàn)證不污染水質(zhì)的材料。制備純化水的設(shè)備應(yīng)定期清洗，并對(duì)清洗效果驗(yàn)證。 
（5）用水接觸的材料必須是低碳不銹鋼或其他經(jīng)驗(yàn)證不對(duì)水質(zhì)產(chǎn)生污染的 材料。制備用水的設(shè)備應(yīng)定期清洗，并對(duì)清洗效果驗(yàn)證。 
（6）純化水儲(chǔ)存周期不宜大于，其儲(chǔ)罐宜采用不銹鋼材料或經(jīng)驗(yàn)證無(wú)毒，耐腐蝕，不滲出污染離子的其他材料制作。保護(hù)其通氣口應(yīng)安裝不脫落纖維的疏水性除菌濾器。儲(chǔ)罐內(nèi)壁應(yīng)光滑，接管和焊縫不應(yīng)有死角和沙眼。應(yīng)采用不會(huì)形成滯水污染的顯示液面、溫度壓力等參數(shù)的傳感器。對(duì)儲(chǔ)罐要定期清洗、消毒滅菌，并對(duì)清洗、滅菌效果驗(yàn)證。 
（7）制藥用水的輸送 
1）純化水和制藥用水宜采用易拆卸清洗、消毒的不銹鋼泵輸送。在需用壓縮空氣或氮?dú)鈮核偷募兓陀盟膱?chǎng)合，壓縮空氣和氮?dú)忭殐艋幚怼?nbsp;
2）純化水宜采用循環(huán)管路輸送。管路設(shè)計(jì)應(yīng)簡(jiǎn)潔，應(yīng)避免盲管和死角。管路應(yīng)采用不銹鋼管或經(jīng)驗(yàn)證無(wú)毒、耐腐蝕、不滲出污染離子的其他管材。閥門(mén)宜采用無(wú)死角的衛(wèi)生級(jí)閥門(mén)，輸送純化水應(yīng)標(biāo)明流向。
3）輸送純化水和用水的管道、輸送泵應(yīng)定期清洗、消毒滅菌，驗(yàn)證合格后方可投入使用。
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